中古 DNS / DAINIPPON 80A #293814129 を販売中

DNS/DAINIPPON 80Aは、様々な基板のエッチングおよびパターニング処理に使用されるフォトレジスト装置の一種です。このシステムは、よく知られており、広く使用されているフォトレジストユニットの強化版です。アモルファスシリコン、ポリシリコン、単結晶シリコンウエハに薄いレジストパターニングを形成するのに最適です。ガラスや石英などの層移動基板のパターニングにも対応可能です。ツールは2つの部分で構成されています。最初の部分はDNS 80Aフォトレジストで、水溶性でゼラチンを含まない高粘度レジストです。基板への接着性に優れ、基板表面全体で均一な厚みと気孔率を実現します。2番目の部分は、スリットスキャン方式を採用したDPS-6202ステッパーで、高い画像検証精度と1 msのシャープな露出レイテンシを実現しています。DPS-6202ステッパーは、3 µmの明るいパターンと暗いパターンの両方を検出し、基板全体にフィルムの均一性を提供することができます。また、さまざまな種類の露出に最適なバランス条件を提供します。DAINIPPON 80AフォトレジストとDPS-6202ステッパーの組み合わせにより、操作性と優れた結果を得ることができます。基板材料は、パターニングプロセスのための正しい条件で準備する必要があります。望ましい結果を得るためには、適切なエッチング条件を選択することも重要です。フォトレジストは高粘度であるため、基板へのオーバースプレーを防ぐために正確な配送と投与が必要です。その後、基板は、所望のパターンに応じてプリセットされた電力と波長の紫外線にさらされます。最後に、露出後、フォトレジストは適切な化学エッチング剤で除去されます。80Aフォトレジストアセットは、エッチングおよびパターニング基板の信頼性と汎用性に優れたモデルです。幅広い用途を誇り、基板への接着性に優れ、優れた一貫性のある結果を得ることができます。この装置は、ステッパーの鋭い画像検証精度と組み合わせることで、エッチングとパターニングのための効率的で費用対効果の高い選択肢です。