中古 DNS / DAINIPPON 60A #9252573 を販売中

DNS/DAINIPPON 60Aは、マイクロエレクトロニクス業界における精密で高解像度のパターンの製造用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、基板に適用され、紫外線（UV）光にさらされるフォトレジスト材料で構成されています。フォトレジストはUVに反応し、材料に所望の形状を与える「クロスリンク」と呼ばれるプロセスで変更され、結果として得られるパターンはナノメートルスケールに精度を持っています。フォトレジストをUVにさらすプロセスは精密かつ再現性があり、パターンの信頼性の高い生産を可能にします。フォトレジストは液体状態で基板に塗布され、紫外線によって選択的に活性化されます。紫外線の強度は、結果のパターンの解像度に直接影響を与える正確な露出レベルを確保するために制御されます。DNS 60Aの技術により、フォトレジストを選択的に露出またはシールドすることができ、15〜20ナノメートルの狭い高解像度パターンの生成が可能になります。大日本60Aユニットの大きな利点は、曲面に沿ったタイトパターンを生成することで、特殊性の高い部品の製造が可能になることです。この技術は、フォトレジストが光に直接さらされた部分だけを活性化する円形の光リングに露出することによって可能になります。この精度により、余分な材料を生産することなく、滑らかな曲線と詳細なディテールを持つ回路と部品を迅速かつ正確に製造することができます。高解像度パターンの製造能力に加えて、60Aはまた、露光後にフォトレジストにSF6とCO2の混合物を適用する業界をリードするドライエッチング処理を提供しています。このエッチング処理により、紫外線によって活性化された領域が除去され、公開されていないフォトレジストだけが取り残されます。これにより、シリコンウェーハ上の詳細で超微細なパターンや形状、および1〜2マイクロメートル以上の層での多層エッチングが可能になります。精密製造アプリケーションに加えて、DNS/DAINIPPON 60Aは、医療および歯科インプラントの製造や科学研究およびバイオテクノロジーの分野で微細加工にも使用されています。高精度、再現性、幅広い用途に対応するDNS 60A機は、業界をリードする精密マイクロエレクトロニクス製造にとって非常に貴重なツールです。