中古 DNS / DAINIPPON 60A #9252552 を販売中

DNS/DAINIPPON 60Aは、半導体製造の分野で使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジスト（Photoresist）は、紫外線に敏感な有機膜で、半導体構造における微小回路などの微細な特徴をパターン化するために使用されます。DNS 60Aは、他のフォトレジストとのエッチング特性に優れたB型樹脂システムです。このユニットは、Aタイプの液体フォトレジスト、Bタイプの粉体塗装フォトレジスト、およびダークグレーの開発者で構成されています。液体フォトレジストをスピンコーティングで塗布し、粉体塗装を基板に噴霧します。その後、ダークグレーの開発者がフォトレジストを選択的に除去するために使用されます。DAINIPPONの60A機械はパターンの高解像度および縦の壁のプロフィールを要求する適用にとって理想的です。A型液体フォトレジストは、アスペクト比が約1：1、細線幅が0。2ミクロンの特徴を生むことができます。B型粉被覆フォトレジストは、アスペクト比が10：1以上、線幅が0。05ミクロン以下の壁プロファイルを製造することができます。また、エッチング抵抗も良好であるため、エッチング工程で基板上に一度パターン化された特徴はそのままになり、寸法精度が向上します。また、半導体加工の重要な要素である沸点以下の温度でパターン化することも可能です。全体的60A、フォトレジストモデルは、詳細で高解像度のパターンを作成するための信頼性が高く、費用対効果の高い機器です。優れたウォールプロファイル特性、エッチング抵抗、低温パターニング機能により、このシステムは半導体アプリケーションに最適です。