中古 DNS / DAINIPPON 60A #9162932 を販売中

DNS/DAINIPPON 60Aは、半導体加工用フォトレジスト装置です。シリコンウェーハに高解像度のパターンを提供するように設計されています。このシステムは、PAA （Photoresist Acid-Antagonistic）技術に基づいており、フォトレジスト前駆体とアルカリ成分の組み合わせです。この組み合わせにより、フォトレジストへの光の露出を制御することで、ウェーハ表面の微細な分解能パターンを実現します。ユニットはフォトレジスト、露出ユニット、開発者、回転ユニットで構成されています。DNS 60Aで使用されるフォトレジストは、光に反応するオリゴマーと混合した液体樹脂です。ウェーハが光にさらされると、オリゴマーはフォトレジストの溶解度の変化を引き起こし、特定の領域が開発中の溶液の影響を受ける可能性があります。露光ユニットは、デジタルプロジェクションレンズ、シャッター、リニアステージ、クォーツランプ、コントローラで構成されています。このユニットは、異なる強度と角度でウェーハに光を投影します。開発者は、フォトレジストの不要な領域を除去するために使用される特別なソリューションであり、光が露出していたウェハ上のパターン化された領域を残します。最後に、スピニングユニットを使用して、ウェーハを所定の速度と時間で機械的に回転させ、フォトレジストで表面を均等にコートします。DAINIPPON 60Aは、高精度で高効率な半導体部品の製造に役立ちます。50ナノメートルの最小フィーチャーサイズで精密パターンを達成できます。また、1つのスピンコーティング工程で複数のパターンを1つのウエハに転送できるため、高いスループットをサポートできます。さらに、フォトレジストは環境に優しく、多くの産業用途に適しています。全体として、フォトレジストツールは、半導体ウェーハ60A精密パターンを作成するための効果的で効率的なツールです。使いやすく、非常に細かい解像度で結果を出すことができます。また、環境に配慮したソリューションを探している業界にとっても好ましい選択肢となっています。