中古 DNS / DAINIPPON 60 #9271552 を販売中
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DNS/DAINIPPON 60は、水溶液を利用したフォトレジスト装置で、紫外線に対して高い感度を提供するように設計されています。このシステムは、微細薄膜の薄層をエッチングすることによって機能し、正確なリソグラフィ制御を可能にするフォトマスクを作成します。まず、望ましいパターンは、融合したシリカ基板と整列します。この後、2つ目の融合シリカ層と平面化層が基板上に追加され、高分解能イメージングのために準備されます。結合された層は、フォトマスクを作成する紫外線にさらされます。光はすぐにフィルタリングされ、露出していない領域はエッチングされて目的のパターンを作成します。次に、フォトレジストフィルムを基板に適用します。フィルムは均一な層に形成されるか、または化学抵抗力があるような望ましい特性のために設計することができます。フォトレジストのフィルムは紫外線硬化性樹脂にさらされ、残りの未発光領域はエッチングされます。その後、残りのUV硬化樹脂を取り除き、さまざまなリソグラフィ用途に使用できる最終的なフォトマスクを作成します。このプロセスは、他のフォトマスクと比較して極めて微細な解像度のフォトマスクを生成し、半導体業界での使用に適しています。単位が達成できる決断は信じられないほど正確である複雑な形の作成を可能にします。さらに、アルカリ溶液の機能により、他のフォトマスクよりも高速な処理と低い活性化エネルギーを可能にします。この機械はまた、反放射線および汚染防止の両方であるフォトマスクを製造する能力を通じて、優れた環境保護を提供します。DNS 60フォトレジストツールは、信頼性が高く、堅牢で信頼性の高い資産であり、さまざまなリソグラフィ用途に使用できます。その汎用性、精度、アルカリ性ソリューションの機能は、幅広い目的のためにフォトマスクを迅速に製造するための費用対効果の高い効率的な方法を探している多くの企業に人気のある選択肢となります。
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