中古 DNS / DAINIPPON 200W #9277847 を販売中

DNS/DAINIPPON 200Wは、半導体デバイス開発用に設計された高解像度フォトレジストコーティング装置です。分析アプリケーションと生産アプリケーションの両方の処理に適した柔軟で効率的なシステムです。DNS 200Wユニットは、高度な液体レジスト液浸リソグラフィ（LLI）技術とオートメーションを組み合わせて、幅広いウエハ処理において優れた性能を提供します。マルチレイヤーのマルチプロセスフォトレジストコーティングを採用し、コーティングの均一性と薄膜コーティング特性を向上させます。また、レジストコーティングの厚さや表面粗さが局所的に異なるため、ライン幅の変化を最小限に抑えるために、独自の微細加工技術を採用しています。このツールは、便利なプロセスの再現性のための自動ウェーハローディング設計を備えています。このアセットには、時間、温度、圧力、およびその他の重要なプロセスデータを表示するカラーLCDモニタが装備されています。さらに、デザインヒントをサポートしたユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、パターン設計が簡単かつ迅速になります。このモデルは、レジスト特性を損なうことなく優れたレジスト接着性を提供し、他のフォトレジストシステムよりも高いライン分解能と一貫したレジストプロファイルを提供します。この装置はまた、正と負の金属から酸、および水性レジストソリューションまで、幅広いフォトレジストコーティングを提供します。さらに、ロボット制御ウェーハ処理技術を搭載し、高精度で自動的なシリコンウェーハ実装を実現しています。クリーンな環境を守るために、ダイニッポン200Wユニットを設計する際には、特別な配慮がなされました。クリーンルーム内のフォトリソグラフィ処理の品質を確保するために、クリーンルーム内の粉塵粒子や湿度を継続的に監視するために、さまざまなフィルターと検出器が装備されています。200Wツールは、高度でユーザーフレンドリーなフォトリソグラフィ加工資産を提供し、幅広いウェーハ加工のための幅広いコーティング材料を提供します。自動化されたウエハハンドリングと優れたレジスト接着により、クリーンな環境で高分解能パターンを開発することができ、半導体デバイスの開発や生産アプリケーションに最適です。