中古 DNS / DAINIPPON 200W #9227318 を販売中

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製造業者
DNS / DAINIPPON
モデル
200W
ID: 9227318
Coater With ASML stepper interface module, 8".
DNS/DAINIPPON 200Wは、量産アプリケーションをサポートするように設計された超高速で信頼性の高いSAMCOフォトレジスト機器です。このシステムは、自動非接触アライメントプロセスを備えているため、高精度なアライメントを処理し、スループットと歩留まりを向上させながら、機器の生産性を向上させることができます。フォトレジストは、空気中の汚染から効果的に保護されるように、制御された雰囲気の環境で適用されます。このユニットは、200ワットのパルスレーザーダイオードを備えたシングルストランド露光源テクノロジーを備えており、従来のフォトレジストシステムよりもはるかに高い精度で超高解像度の機能を実現できます。このマシンは、競争力のあるシステムよりも大幅に少ないスペースを占める、非常にコンパクトに設計されています。このツールには、ダイナミック露出とエアフロートアライメントという2つのユニークなコンセプトが組み込まれています。ダイナミック露出機能により、フォトレジストパターンの形状を検出して一致させ、リアルタイムでアライメントを微調整して高精度な結果を得ることができます。エアフロートアライメントは、プロセスの歪みを低減し、フォトレジストを複雑な構造に適用するときに組み込むことができる柔軟性の量を増加させます。このモデルは、既製のクォーツを基板として使用しており、他のフォトレジストシステムと比較して低コストで信頼性が高い。クォーツはレーザーパルスを熱に変換するため、レジスト内の均一な腐食を実現します。さらに、石英表面は大気にさらされたときに酸化物の層で完全に覆われ、さらに均質なレジスト層が得られます。さらに、設計データと露出パラメータを格納するツールを含むデータ処理システムを内蔵しているため、効率が向上し、時間を節約できます。これにより、露出パラメータとテスト結果のみを入力する必要があるため、サイクルあたりの生産時間が短縮され、面倒な手動データ入力が不要になります。その結果、露光時間の短縮と測定精度の向上により、製品の品質が向上します。全体として、DNS 200Wは、優れた解像度、高スループット、生産性の向上、市場の他のシステムと比較して低コストを提供する信頼性の高いフォトレジストユニットです。ダイナミックな露出とエアフロートアライメント機能により、あらゆる生産アプリケーションに最適です。
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