中古 DMC SA/3m #143322 を販売中
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ID: 143322
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Wafer-level Electro Plating system, 8"
Used for Stamper and micro pattern electro-plating
Can be implement as high uniformity
Using cathode head rotating system can produce high-quality products
This equipment can be applied to MEMS type and performed on the trench fill electroplating
Process automation can be set with Independent program for each cell
Various plating condition can be set with Independent program for each cell
DC, pulse, pulse- reverse current can be supplied in the resolution ±1 mA
Ni, Ni-CO, Cu Electroplating can be performed with this equipment
Total solution volume: 500 liters
Features:
Small Footprint
Independent Pump/Filtration for each cell
Patented adjustable cathode head and workholder for precise control of thickness variation
Front access for maintenance
Integrated all-in-one design, integrated sump & electronics
Enclosed work area for process control
Industrial PC control with large flat panel touch-screen display
Switch mode rectifiers
Easy operator interface
All digital Control system
(Qty 3) Cells:
Pump: 1 HP
Heater: 6 kW
Rectifier: Standard 65 Amps, 24VDC
Filtration: 2 Stage
Pre-filter: 5 micron DOE, 20"
Final-filter: 0.45 micron DOE, 20"
Flow: 50 liter max (Adjustable)
2006 vintage.
DMC SA/3mは、精密な光の露出のために設計された最先端のフォトレジストベースの機器です。このシステムは、高度なマイクロサーキット製造プロセスの要件を満たすように特別に設計されています。高精度なイメージマスクアライメント、正確な手動位置決め、強力なX線源、高解像度のイメージング機能を備えています。DMC SA/3mは、3軸電動光ファイバマスクアライメントユニットを使用して、強力で一貫した画像を生成します。イメージング位置を正確に調整し、マスクへのアライメントガイドフレームを正確に配置することができます。また、高出力源は複数の角度から高輝度の光を供給することができ、単一の表面で一貫した照明を保証します。DMC SA/3mは、その位置決めにおいて高精度です。マスクの大きさに関係なく、露出ごとにマスクの正確な位置を正確に配置して測定することができます。そのX線源は、より複雑な画像を作成するためのマルチパス露光を提供するために調整することができます。その超高解像度イメージングツールは、5。2ナノメートルの解像度まで情報をキャプチャすることもできます。DMC SA/3mは、その画像再生機能に加えて、コーティングを実行し、プロセス統合を開発することもできます。その一貫したコーティング資産は、基板全体にわたって一貫した画像解像度を確保するように設計されています。プロセスインテグレーションの開発により、広い領域で高感度のイメージングが可能になります。このモデルは、エッチング、堆積、リソグラフィなどの他の基板技術と組み合わせて使用することもできます。全体として、DMC SA/3mは、要求の厳しいマイクロサーキット製造アプリケーション向けの洗練されたフォトレジストベースの機器です。精密な画像位置決め、多軸モーター式マスクアライメント、強力なX線源を提供します。そのイメージング機能は高解像度であり、システムは他の基板技術と組み合わせて使用することができます。したがって、DMC SA/3mは、イメージングおよび製造プロセスにおいて精度と精度を必要とする人々にとって理想的なソリューションです。
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