中古 DISCO DSC 141 #293751064 を販売中

DISCO DSC 141は、回路ラインのパターニングやウェーハ上のマイクロホールなどの半導体デバイス製造プロセスで使用するために設計された画期的な感光抵抗装置です。このシステムは、光を素早く材料を変換する触媒として利用し、リソグラフィーのパターン、画像、本質的な情報をウェハ表面に加工します。極小寸法のパターンを生成し、超高密度マイクロエレクトロニクス部品の製造を可能にします。このユニットは、パターンを微妙に変化させるための精密な回転ステージと、フォトレジストコーティングされたウェーハにパターンのイメージを集中させる一連の光学系で構成されています。使用されるウェーハは、通常、光に敏感なポリマーまたは共重合体材料からなるフォトレジストフィルムでコーティングされたシリコン基板です。フォトレジストは、特定の波長の電磁放射にさらされ、その化学構造を変換し、液体から固体状態への進行を可能にします。この画像転送プロセスにより、ウェーハ表面に特定のパターンを編集することができます。このステップに従って、開発プロセスが行われなければなりません。このプロセスは、より小さな構造を生成するために露出したレジストの重合を強調します。フォトレジストが露出して処理されると、エッチングとトリミング技術を回路に適用して、マイクロエレクトロニクス業界のデバイスの複雑なパターンと形状を作成することができます。最後に、ウェーハの表面にエッチングされたパターンを残して、アクセスレジストを取り除く必要があります。結論として、DSC 141は高度で非常に効率的なフォトレジストマシンであり、製造業者は高い精度と鋭さでパターンを生成することができます。マイクロメタパターンを生成し、超高密度マイクロエレクトロニクス部品を実現するために必要不可欠なツールです。