中古 DELTA 7EK #9395525 を販売中

製造業者
DELTA
モデル
7EK
ID: 9395525
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2008
Coater, 6"-8" (1) Dedicated puddle dispense arm for developer and N2 (1) Dedicated spray arm for developer and DI rinse THERMO SCIENTIFIC A25 Chiller PC 2008 vintage.
DELTA 7EKフォトレジスト装置は、精密フォトレジスト加工のためのコンパクトで経済的なソリューションです。コスト削減とパフォーマンスの両方のメリットを提供するオールインワンプラットフォームを提供します。このシステムは、正確な波長制御を提供するフルスペクトルLEDフォトメータと、正確な光の露出測定のためのテラヘルツ水晶モニターを内蔵しています。このユニットは、フォトレジスト浸漬VGA、静的およびダイナミックレジスト、レジストコート金基板など、さまざまなフォトレジスト材料をサポートしています。統合されたケミカルソリューションは、ダウンタイムを最小限に抑えながら、優れた解像度とパフォーマンスのメリットをもたらします。このマシンは、プログラムをすばやくセットアップできる高度なオートローダーを備えており、ツールを設定して1つのステップで複数の露出を自動的に発射することができます。この合理化された設計により、試薬の準備と交換に必要な時間が大幅に短縮され、同じセットアップでさまざまなフォトレジスト材料に対応できます。統合されたフラッドイジェクト機能により、過剰なフォトレジスト材料を同時に処理でき、レジストの交換に必要な時間をさらに短縮できます。性能面では、7EKは0.5µmまでの解像度が可能で、被写界深度が拡張されています。アセットは、さまざまなプロセスや基板にわたって一貫した均一なレジストコーティングを提供するように設計されています。ソフトウェアは非常に直感的であり、オペレータは必要に応じて迅速にプロセス手順を設定、実行、および調整することができます。安全性に関しては、DELTA 7EK Photoresist Modelは、危険物へのオペレータの暴露を最小限に抑えるように設計されています。ろ過された気流装置と完全な保護エンクロージャは、空気中のガス露出に関連する危険を減らします。排ガス送風機は、作業者がハザードエリアに入る必要性をさらに低減し、プロセスで使用される化学物質を安全に処理します。7EK Photoresist Systemは、高精度フォトレジスト処理の優れたオプションです。直感的なユニット設計により操作が容易になり、高度な機能によりプロセスの自動化と正確な制御が可能になります。機械の安全機能は、オペレータに安心感を与え、そのリーズナブルな価格のパフォーマンスは、それがあらゆる生産ラインのための強力なソリューションであることを保証します。
まだレビューはありません