中古 DELTA 5AQ #9395524 を販売中

DELTA 5AQ装置は、マイクロエレクトロニクスデバイスのクリーンな生産のために設計された最先端のフォトレジストシステムです。このユニットは、製造メーカーがプロセスをより良く管理し、欠陥を最小限に抑え、コストを削減できるように特別に設計されています。このマシンは、高品質のマイクロエレクトロニクスコンポーネントを作成する必要がある組織をサポートすることができ、堅牢なフォトレジストサービスの広い範囲を提供しています。これには、マスキング、パターニング、リソグラフィなどのプロセスが含まれます。また、パターンオーバーレイ検査、垂直ラインスキャン、自動化されたプロセス監視など、さまざまな高度な機能を提供します。5AQは、開発ステーション、プロセッサ、および自動ウェハハンドラからなる3つのコンポーネント・ツールです。3つのコンポーネントすべてが連携して、一貫した最適化されたプロセスを保証します。開発ステーションは、アセットで使用されるフォトレジストのサービスとバッチチューニングを担当しています。高速メモリモデルを搭載しており、データやレシピを素早く転送できます。プロセッサには、複数のポンプと攪拌機、遠紫外線ランプ、スプレーガンが含まれており、フォトレジストの開発と処理作業の完全な配列を可能にします。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、プロセスを通じてユーザーを導きます。プロセッサには、清潔さと化学的安定性を維持するための自動洗浄装置も内蔵しています。自動化されたウェハハンドラは、さまざまなウェハサイズに対応でき、最高のスループットレートを提供します。高度なロボティクスと精密モーションシステムを使用して、基板を正確に整列および配置します。また、基板交換が容易な専用ドッキングステーションを備えています。結論として、DELTA 5AQは、高品質のマイクロエレクトロニクス部品を製造するために設計された高度なフォトレジストユニットです。強力な開発ステーション、プロセッサ、信頼性の高い自動ウェハハンドラを組み合わせ、一貫した最適化プロセスを保証します。このマシンは完全に自動化されており、使いやすいユーザーインターフェイスを提供します。最先端の機能を備えたこのツールは、高品質のマイクロエレクトロニクスコンポーネントを生産する必要がある組織に最適なツールです。