中古 DELTA 5AQ #293628639 を販売中

製造業者
DELTA
モデル
5AQ
ID: 293628639
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2005
Cassette nest, 6"-8" Developer system (2) Dispense arms (2) Cybor programmable metering pumps Dual end effector transfer arm Backside rinse Hepa filter EBR Canister Hotplate PC 2005 vintage.
フォトレジスト装置としても知られるDELTA 5AQは、重要なマイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスで利用される技術の一種です。このタイプの技術は、技術者がさまざまな基板上に耐久性のある高精度の物理的特徴を費用対効果の高い方法で生成できるように設計されています。5AQシステムは、フォトポリマー多層レジストを利用した高度なリソグラフィープロセスです。レジストは液体の形で作成され、パターン化される基板に薄い粘性膜として適用されます。レジストが適用されると、基板は適切な露光波長の光にさらされます。この露出は化学反応を開始し、レジストの状態を変化させて溶けにくくなり、最終的にレジストフィルムを硬化させます。露出処理後、変形したレジストを選択的に洗い流すことで基板をパターン化できるようになりました。DELTA 5AQユニットは、薄い液体フィルム抵抗、正確な露光波長、および精密なレジスト開発プロセスの組み合わせにより、基板上の非常に微細で複雑な物理的特徴を製造することができます。さらに、5AQは優れたエッジ定義、フィーチャー寸法精度、プロセススループットを低コストで提供します。DELTA 5AQフォトレジストマシンは、その堅牢な性能と費用対効果により、マイクロエレクトロニクス業界で重要なツールとなっています。これにより、あらゆるデバイスの性能に不可欠な基板上の正確な物理的特徴(5ミクロン以下)を迅速かつ正確に生成することができます。5AQツールはまた、優れたウェーハ間ウェーハおよび層間制御を提供します。これにより、技術者は正確なデバイス製造のために基板の臨界寸法(CD)を制御することができます。さらに、DELTA 5AQ資産は、従来のシステムと比較して、安全性と環境保護を向上させます。全体的5AQ、フォトレジストモデルは、手頃な価格で正確で信頼性の高いプロセスで正確な物理的特徴を提供します。マイクロエレクトロニクス業界で非常に重要なツールであり、近年ではデバイス製造の標準となっています。
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