中古 Dantakuma DT-1600 #9290797 を販売中

Dantakuma DT-1600
製造業者
Dantakuma
モデル
DT-1600
ID: 9290797
ウェーハサイズ: 12"
Lithography system, 12".
Dantakuma DT-1600は、主に半導体やフォトマスクの製造において精密なパターニングに使用されるフォトレジスト機器です。露出ユニット、レジストコーティング機、開発ツールなど、さまざまな部品で構成されるモジュラーシステムです。露光アセットは、水銀蒸気アークランプを使用して光線を照射します。このモデルは、1〜10Hzの周波数と0。2〜0。3 MW/cm2の光度比を持つフォトレジストを露出させます。露光装置には、調整可能なフォーカシングレンズとパターン生成ソフトウェアがあり、パターンの正確な形状を定義します。レジストコーティングシステムは、半導体ウェーハにフォトレジスト層を適用するために使用されます。このユニットは、ドライフィルムのフォトレジスト、フォトレジスト、SU-8、フォトレジストなど、さまざまなフォトレジストフィルムを適用できます。レジスト溶解タンクとスピンコーターの2つの部分が含まれています。溶解タンクはフォトレジストの溶液を保持し、スピンコーターに転送されます。スピンコーターはウェーハを回転させ、フォトレジストを表面に均等に分散させることができます。開発中のマシンは、露出したフォトレジスト層を除去するために使用されます。このツールは、エッチング剤の化学物質と開発者のソリューションを組み合わせて、露出したフォトレジスト層をウェーハから選択的に溶解します。開発者のソリューションには、溶媒、界面活性剤、アルカリ、キレート剤、塩バッファが含まれています。DT-1600は、さまざまな基板上で正確なパターニングを可能にする強力なフォトレジストアセットです。半導体ウェーハ、フォトマスクなどの技術に必要な複雑なパターンを作成するために使用できます。そのモジュラー型の性質は、ユーザーにニーズと予算に最適なコンポーネントを選択する柔軟性を提供します。
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