中古 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS #9309592 を販売中
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DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUSは、フォトリソグラフィーユーザーに迅速で信頼性の高い高精度処理を提供するように設計されたフォトレジスト機器です。これは、一連のリソグラフィープロセスを提供する完全に自動化されたシステムです。このユニットは、フォトマスクの正確かつ迅速なアライメントを提供する統合マスクアライナーを備えています。これにより、より正確なレジストコーティング、露出、および開発が可能になります。大面積アライメント範囲が870 mmx870 mmまでの小規模および大規模デバイス製造用に設計されています。オートエスコート機能は、高いスループットと一貫した結果を維持するのに役立ちます。さらに、このマシンは操作が簡単な直感的なユーザーインターフェイスも備えています。ユーザーが選択可能なフォーカスマークモードを搭載しており、最大3つのフォトマスクを同時に配置してフォーカスできるため、アライメント時間を大幅に短縮できます。また、マスキングエリア検出、位置決め精度、アライメント速度、再現性を標準装備しています。TC DR-15 SUSは、優れたフォトレジスト結果と高品質の画像を提供するように設計されています。これは、0。1 μ mの解像度で強度画像を解決することができ、8インチのスループットレベルの処理能力を備えています。また、30ガロンタンクを備えており、高解像度でも一貫した品質の結果を保証します。このツールは拡張性を考慮して設計されており、プログラマブルパラメータにより幅広いデバイス形状や材料に対応できます。また、MEMS、 LED、光学マイクロコンポーネントなどのマルチレベルのプロセスアプリケーションにも適しています。DAN-TAKUMA TC DR-15 SUSは、半導体や電子デバイスの製造に最適な資産です。手動操作を最小限に抑え、人間の入力ミスを最小限に抑え、精度を最大化するように設計されています。信頼性が高く、高速で、毎回高品質のフォトレジスト結果を提供します。
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