中古 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-3708BEW #9132918 を販売中

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-3708BEWは、基材に薄膜をパターン化しエッチングする最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、精密なパターニングとエッチングを提供するように設計されており、電子機器製造、LED製造、マイクロチップ製造など、さまざまなフォトレジスト加工アプリケーションに適しています。SCQR-3708BEWは、280 x 220 mmの露出面積を持つ標準的なArF（液浸および乾燥）およびKrF（乾燥）レーザーをサポートしています。モジュラー設計により、さまざまな構成を可能にし、ユーザー固有のニーズに適合させることができます。その他の機能として、高精度の自動アライメントとスループット監視があります。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-3708BEWは、基板上に複雑なパターンを形成できる「スキップフィールド」などの高度なスキャン技術もサポートしています。これにより、全体的な処理時間を短縮し、エッチングの選択性を向上させます。さらに、高精度なアライメントと機能の忠実度を向上させるために、低真空圧の統合されたウェーハチャッキングマシンを備えています。高精度レーザーナビゲーター、モータ制御ステージ、光送り装置により、このツールの精度と動作速度が向上します。また、ダストカバーを内蔵し、汚染を低減するために改善された真空アセットを備えています。さらに、モデルにはインテリジェントハンドリングソフトウェアが装備されており、最適なプロセスパラメータを自動選択できます。SCQR-3708BEWはまた過電流保護、動き検出および緊急停止ボタンのような安全特徴の範囲が、装備されています。また、業界の厳しい安全基準を満たすように設計されています。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-3708BEWは、基材に正確なパターニングとエッチングを提供するために設計された汎用性と信頼性の高いフォトレジストシステムです。内蔵ダストカバー、高精度オートアライメント、インテリジェントハンドリングソフトウェアなど、さまざまな高度な機能を備えているため、さまざまなフォトレジスト加工アプリケーションに最適です。