中古 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-2004V-M #9132942 を販売中

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-2004V-M
ID: 9132942
ヴィンテージ: 1997
Parts dryers, 1997 vintage.
DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-2004V-Mフォトレジスト装置は、汎用性の高い高精度スキャンを組み合わせた最先端のフォトリソグラフィーシステムで、高度なデバイス製造のための自動的で信頼性の高いパターニングソリューションを提供します。古典的なマスクアライメント、近接アライメント、ビーム露出など、幅広いリソグラフィ操作が可能です。レーザダイオードスキャニングマシン(LDSS)は、現在の半導体産業において重要な高速動作と卓越した精度を実現します。SCQR-2004V-Mツールには、マスクと基板の両方の迅速なアライメントを可能にする独自のデュアル自動アライメントアセット(DAQS)が含まれています。これにより、パターニングプロセスの設定と完了時に最大限の効率が得られます。DAQSは、DAN-TAKUMA独自のレーザーイメージング技術を活用し、従来のマニュアルアライメントに比べてアライメント時間を大幅に短縮します。また、高精度の六角形ステアリング/異方光学装置を搭載し、光源の反射と屈折を組み合わせて、画像の歪みを最小限に抑えながら光の集中スポットを生成します。このシステムは、ターゲット基板上のパターンの非常に均一な露出を可能にするため、微細で幾何学的に複雑な構造を製造するのに理想的です。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCQR-2004V-Mフォトレジストユニットは、リニア、ラジアル、スパイラルスキャンパターンなど、さまざまなイメージングオプションから選択できます。また、可変露光時間と露光パラメータの設定の柔軟性を提供します。この機能により、ユーザーは自分のアプリケーション要件に合わせて高品質で正確な結果を出すことができます。さらに、このマシンは、波長依存の露出パラメータ、ステップワイズ露出、および自動露出制御などの高度な機能を提供します。これにより、品質を犠牲にすることなく、高解像度デバイスを迅速かつ正確に生産できます。SCQR-2004V-Mフォトレジストツールは、高品質で正確なパターンを作成するための理想的なソリューションです。幅広い汎用性と高速動作と卓越した精度を兼ね備え、高度なデバイス製造のための自動化、信頼性、革新的なプラットフォームを提供します。
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