中古 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCH-2003BEW-S-D #9132943 を販売中

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCH-2003BEW-S-Dは、エッチング、パターニング、沈着処理を行うフォトレジスト機器です。このシステムは、最先端のエレクトロニクスと光学を組み合わせた独自のデュアルビームユニットを備えており、優れた処理安定性と速度を実現しています。2つのビームマシンは、ワークの前面と背面の両方から同時に表示、露出、エッチングを可能にします。これは、オペレータがさまざまな角度からエッチングと写真プロセスを監視することができます高度な石英表示ウィンドウを備えています。このフォトレジストツールには、ワーク形状とサイズに関係なく正確なパターン配置を保証する完全に自動化された精密XY位置決めおよび追跡アセットが装備されています。高速パターニングの均一性と再現性を提供し、精度を向上させます。また、UVおよびNIR露出制御機能も備えています。このモデルは、高度な光検出器と統合されており、任意のタイミングでワーク表面に到達するエネルギー量を正確に測定します。これにより、SCH-2003BEW-S-Dは、不均一なレジスト層を持つ困難なウエハの処理に特に適しています。また、II-VIメッキ技術を活用し、エッチング工程での耐食性を向上させています。さらに、システムの高度な露出制御ソフトウェアにより、オペレータはエネルギーレベル、パルス幅、および再現可能な結果の露出時間を定義することができます。高速モータにより、複雑な部品のバッチ処理を最高精度でサポートします。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES SCH-2003BEW-S-Dはまた、レジスト層の徹底的なポスト露出硬化と凝固を促進するユニークなポスト露出ベーク機能を備えています。これは、温度や時間に敏感なアプリケーションの処理に特に役立ちます。埋め込まれた光抵抗は、露出したウェーハ表面のエネルギーと光化学特性を正確に計算するのに役立ちます。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIESのフォトレジストマシンは、精度の高い精密部品の加工に必要な柔軟性と性能を提供します。また、非常に効率的であり、より高速な開発サイクルのための改善されたエッチングおよびパターニング機能を提供します。