中古 DAN SCIENCE ASL-7500A #9396567 を販売中

ID: 9396567
ウェーハサイズ: 5"
Spin dryer, 5".
DAN SCIENCE ASL-7500Aは、二酸化ケイ素(SODS)材料のエッチング用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、400nm波長レーザーで薄膜材料を処理し、エッチング速度が最大6um/秒の均一で高解像度のエッチングパターンを作成します。ASL-7500Aは24x24インチの総働く区域および10umのレーザーの点サイズを提供する信頼でき、正確な機械です。このユニットは、5umとliftoffの定義を3umにクリティカルライン定義することができます。DAN SCIENCE ASL-7500Aは、利用可能な最先端のフォトレジスト技術のいくつかを組み込み、複雑なデバイスの作成に最大限の精度と精度を可能にします。機械は光学ヘッドの精密な位置のための高度のクラス3自動化されたトラックを利用します。このトラックツールは、最大100MHzの帯域幅が可能で、レーザーをサブミクロンレベルに正確に配置することができます。Laser Beam Data Interface (LBDI)プロトコルは、リアルタイムのパフォーマンスパラメータを提供し、エッチパターンの最適な一貫性を確保します。さらに、高度な制御ソフトウェアにより、銃の精密な光学的調整が可能になり、厚いフィルムと薄いフィルムの一貫した信号強度が得られます。ASL-7500Aのソフトウェアは、ウッドパイルエッチングからリアクティブイオンエッチングまで、エッチングのためのさまざまなプロセスを備えており、さまざまな材料との最大限の互換性を可能にします。このアセットは、高度な通信ポートと最新のI/Oモデルを備え、さまざまなシステムに簡単に統合できるように設計されています。このユニットは、複雑なプロセス制御のためのさまざまなフォトレジスト製剤と互換性があり、最適なエッチング能力と完全な精度を確保します。DAN SCIENCE ASL-7500Aは、幅広い用途に適した理想的なフォトレジスト機器です。このユニットは、様々な薄膜材料の詳細で高精度な機能を作成することができます。その高度な制御方法とソフトウェアの互換性は、一貫した信頼できる結果を必要とする人にとって理想的な選択肢です。SODSをはじめとする様々な材料に対応できるため、半導体業界の研究者や専門家に最適です。
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