中古 CYBOR 05026-00CL B #86310 を販売中

CYBOR 05026-00CL Bフォトレジスト装置は、フォトマスク、シリコンウェーハ、MEMS、その他の電子機器製造などの用途に使用されるキヤノンの最先端のリソグラフィーシステムです。ユニットはモジュール構造設計で設計されており、柔軟で幅広い操作が可能です。調整可能な5軸アライメントと電動ステージを搭載し、フォトレジストフィルムや基板の正確な配置を可能にします。電動ステージは、0。1 μ mまでの正確で再現性のある分解能を提供し、ツールに手動位置決めシステム上のエッジを与えます。CYBORアセットは、9。3cm×9。3cmの領域に基板を正確に配置できます。このモデルは、生産、高度なロジックデバイス生産、ナノデバイス生産、MEMSデバイスなどの高度なアプリケーションに最適です。この装置は、薄膜から厚膜まで、さまざまなフォトレジストフィルムの処理に適しています。さらに、CYBORシステムには高度な露出パラメータが付属しており、露出線量と露出時間を正確に制御できます。これは、フォトレジスト被覆基板の精度と精度を確保するのに役立ちます。このユニットはまた、データを記録し、それぞれの露出の結果を分析する機能を提供します。05026-00CL Bのフォトレジスト機械は要求の高いハイテクな適用のために設計されています。それは非常に信頼性が高く、正確で費用効果が大きいです。革新的な電動ステージおよび高速露出ツールは、幅広い生産ニーズに対応する精密で反復可能なソリューションを提供します。このアセットは最大限の柔軟性を提供し、高精度の露出パラメータと高度なアライメントオプションを通じて、薄膜から厚膜まで、多様な基板の生産を可能にします。CYBORフォトレジストモデルは、大規模生産ニーズに最高品質のフォトリソグラフィを提供します。