中古 CRESSINGTON 108 Carbon/A #293656286 を販売中

CRESSINGTON 108 Carbon/フォトレジスト装置は、半導体デバイスの製造に使用される業界をリードするフォトリソグラフィ技術です。カーボンベースの有機蒸着（CVD）方式により、ウエハ基板へのカーボンベースのフォトレジスト材料の蒸着を正確に制御することができます。これは、堆積フォトレジストの特性と品質の点で高い均一性を提供します。このユニットは、自動蒸着チャンバ、フォトレジスト材料を精密に適用するためのフォトレジスト分配チャンバ、およびポストデポジションキューリング用のフォトレジスト分注チャンバで構成されています。この機械は、0。5 µmから200 µmまでの厚さのフォトレジストを堆積させることができ± 0。5ミクロンの均一性と1時間あたり11〜30ウェーハのプロセス速度を備えています。このツールは、SU-8、 AZ、 ORM、 HMDSなどの標準的なフォトレジスト化学物質と使用でき、金属または誘電体コーティング、多層エッチマスキング、裏面リソグラフィなどの特定のフォトレジスト用途に最適化できます。蒸着チャンバ内の温度範囲は25〜185°Cで、重要なエッチング工程では低いプロセス温度で0。1 Torrまでの真空安定性を実現できます。このアセットは、フォトレジストアプリケーションプロセスのパフォーマンスを向上させるためのさまざまな機能を提供します。これには、正確な制御のための自動分散フローキャリブレーションモデル、およびすべてのプロセスパラメータを記録する内蔵データロガーが含まれます。また、フォトレジスト沈着時の動作不良を検出する内部診断システムも搭載しています。CRESSINGTON 108 Carbon/フォトレジストユニットは汎用性と信頼性が高く、幅広い重要な半導体アプリケーションに対応する高精度、高均一フォトレジスト層を製造することができます。内蔵のオートメーション、高度な診断および監視機能、およびプロセスパラメータの制御により、このマシンは業界をリードするフォトリソグラフィープロセスに最適です。