中古 CONVAC LBA 7 #9177469 を販売中

CONVAC LBA 7は、先進的な半導体デバイス製造プロセス向けに特別に設計されたフォトレジスト装置です。レジストコーティング、スピニング、ベーキング、集積回路製造工程で使用されるフォトレジスト層の開発など、洗練された機能を備えています。また、フォトリソグラフィに使用される高度な3軸スキャンステージも備えています。LBA 7によって提供される抵抗のコーティングは非常に均一なフィルム厚さを提供する独特な固体分率の調節の特徴を特色にします。回転プロセスは100から3500 RPMまでの速度が可能で、選択可能な加速度と減速度、空力スピンレート安定化、および正確な制御のための平均遠心力センサを提供します。ユーザーフレンドリーなベーキングユニットは、50〜400°Cの調節可能な温度範囲を持ち、基板上の温度均一性は± 0。5°Cです。開発には、幅広いフォトレジストを処理する際に最適な結果を得るために、10〜40°Cの調整可能な開発者温度範囲があります。スキャン段階では、CONVAC LBA 7は0。5 µmの優れた再現性と、高精度の加速と速度制御を提供します。これにより、基板上に高精度で正確なパターンを配置することができます。超精度のXYZマニュアルアライメントマシンも付属しており、0。1 ± µmの微細な位置精度を提供します。このツールは、任意の自動フォトリソグラフィ装置と統合するプログラム可能な露出機能も備えています。LBA 7は、集積回路製造プロセスに必要な幅広いフォトレジスト層を製造するための、高効率でユーザーフレンドリーで費用対効果の高い資産として設計されています。トップオブラインのレジストコーティング、スピニング、ベーキング、および最適な出力のために正確に自動化できる開発性能を備えています。ユーザーフレンドリーな設計と高度なスキャンステージにより、正確なフォトリソグラフィに最適です。