中古 CONVAC CRH 9S #54531 を販売中
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ID: 54531
ヴィンテージ: 1988
Spin coater
390v, 50hz, 5.5kva
Complete with spares and books
1988 vintage.
CONVAC CRH 9Sフォトレジスト装置は、半導体産業におけるフォトレジストの乾燥と回収のための強力で精密なツールです。このシステムは、お客様に最新の最先端技術を提供し、製造目標を達成できるように設計されています。ユニットは、さまざまなコンポーネントの組み合わせであり、それぞれが最終的に精密フォトレジストフィルムを生成するために独自のタスクを実行します。CRH 9Sのコンポーネントは、輸送真空チャンバー、レジスト気化器、カスケードチャンバー、エアロゾルミストコンセントレーター、コンデンサー、ドラム回収機で構成されています。トランスポートバキュームチャンバーは、フォトレジストを搭載するチャンバーです。内部に入ると、フォトレジストは真空にさらされ、レジストから揮発成分を除去し、均一な沈着を保証します。レジスト気化器は、レジストを基材に均等に分配するために働く部品です。加熱された気化器は、基材の表面に正確にしがみつき、熱蒸着を同時に行うことができ、均一な厚さの均一な膜を形成することができます。カスケードチャンバーは、レジスト液滴を均等に分散させ、さらに高速で一貫したペースで基材にレジストを分配します。カスケードチャンバーは、液滴を小さくして基板上に均等に分布させることで、レジストの均一性を制御するのにも役立ちます。エアロゾルミストコンセントレータは、カスケード室で循環している間に濃縮液滴から異物を除去する働きをします。このコンポーネントは、レジストの一貫性と均一性を確保するのにも役立ちます。コンデンサーは、エアロゾルミストコンセントレータに電力を供給するものです。コンデンサーはまたそれが液滴に沸騰することを防ぐために抵抗の温度を調整するのを助けます。最後に、ドラム回収ツールを使用して、基材を均等かつ迅速に回収します。ドラム回収アセットは、基板回収の再現性を高めることにより、レジストフィルムの欠陥を軽減することもできます。結論として、CONVAC CRH 9S Photoresist Modelは、半導体産業におけるフォトレジストの乾燥と回収のための強力で正確なツールです。この装置は、輸送用真空室、レジスト気化器、カスケードチャンバー、エアロゾルミストコンセントレーター、コンデンサー、ドラム回収システムで構成されています。これらのコンポーネントはすべて、優れた均一性、一貫性、再現性を備えた精密フォトレジストフィルムを製造するために組み合わせて動作します。
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