中古 CONVAC CBA-3–3 M-2000 #9016683 を販売中

CONVAC CBA-3-3 M-2000は、半導体およびマイクロエレクトロニクス部品の精密なリソグラフィーパターンを実現するために使用されるフォトレジスト装置です。サンプリング、マスキング、エッチング、インプリントなど、さまざまなパターニングアプリケーションを容易にするために使用されます。フォトレジストシステムの主な構成要素は、液体またはガス混合物を使用してワーク表面に高コントラスト画像を作成するように設計されたコンフォーマルポンプです。ポンプ自体は、基板形状に関係なく、厚さ20〜500nmのフォトレジストの様々な厚さを適用することができます。このポンプはまた、5 μ mから1mmまでの狭い範囲で均一なカバレッジを実現することができ、さまざまなリソグラフィ用途に適しています。ユーザーは、コンフォーマルポンプのセットパラメータを変更して、異なるフォトレジストパターンを生成できます。これは、露出時間と厚さ、およびレジストの種類を調整することによって達成されます。フォトレジストを適用した後、フォトマスクが照らされ、フォトレジストの露出領域が開発されます。これにより、これらの領域のフォトレジストが除去され、下の基質が明らかになります。残りのフォトレジストを取り外し、新しく作成された材料に置き換えることができます。さらに、CONVAC CBA-3-3 M-2000フォトレジストユニットには、自動シャットオフや自動アラームなどの多数の安全機能が装備されており、動作範囲外でパラメータが変更された場合にユーザーに警告します。また、特定のリアルタイム監視が可能であり、ユーザーは必要に応じて処理パラメータを確認および調整することができます。これにより、アプリケーション間の最適な再現性と一貫性を確保できます。CONVAC CBA-3-3 M-2000フォトレジストマシンは、複雑なリソグラフィーパターンを達成するための信頼性の高い正確な手段をユーザーに提供します。フォトレジストの適用を精密に制御し、ユーザーは正確な要件に合わせてパターンをカスタマイズできます。最後に、その強化された安全機能により、ユーザーは常に運用パラメータを通知し、必要に応じて調整することができます。