中古 CONVAC 6000 #26871 を販売中

CONVAC 6000は、マイクロエレクトロニクス製造業界のフォトリソグラフィ用に設計された高性能産業用フォトレジスト機器です。このシステムは、照明サブシステム、マスクサブシステム、レジストコーティングおよび開発ヘッドで構成されています。照明サブシステムは、2つのF2エキシマレーザー源を使用して、最大550mJ/ cm2のエネルギー、最大400kHZの周波数、および前面照明のスポットサイズは最大3umです。照明サブシステムには、可変ギャップレーザーセル、レーザー電源、シャッターも含まれています。マスクサブシステムには、自動真空マスクチェンジャー、自動クォーツマスクエクスポーザーが搭載されています。明るいフィールドと暗いフィールドの両方のパターンで複数の照明角度と露光時間を可能にします。レジストコーティングヘッドは、ウェハ全体で優れた均一性を提供するように設計されています。厚膜、薄膜で最大300mmまでのコーティングが可能で、精度と精度が同等です。このレジストコーティングは、ソレノイド作動式自動弁を使用しており、コーティング工程の各ステップに正確な流量、圧力、温度を提供します。6000の開発ヘッドは、四極ベースの噴霧スプレーヤーを備えており、ウェーハ内のすべての部品で均一な開発時間を短縮します。アトマイザーは、レジスト表面に溶剤ベースのエッチング媒体を噴霧し、立体エッチングなどの高度なレジスト除去技術を可能にします。全体的にCONVAC 6000ユニットは、高精度生産に最適な信頼性とコンパクトなフォトリソグラフィ機であり、最大のスループットを実現します。自動化されたマスク処理、可変的な照明角度、および精密抵抗の沈殿は、マイクロエレクトロニクス設計の連続的な高い生産性にとって理想的です。