中古 CONVAC 1001 #293653478 を販売中

製造業者
CONVAC
モデル
1001
ID: 293653478
ヴィンテージ: 1994
Spin coater 1994 vintage.
CONVAC 1001は、半導体産業における先進的な処理システムと消耗品のリーディングサプライヤーであるCONVAC GmbHが開発・製造した高性能フォトレジスト機器です。このシステムは、さまざまなプロセス用途に適合するように設計されており、薄膜フォトレジスト成膜、リフトオフ動作、半導体製造の高解像度パターニングに特化しています。1001は、非常に高度なプロセス制御と精度を提供するデュアルビーム光プロジェクションユニットを備えています。このマシンは、フォトレジスト基板に正確に整列して焦点を合わせた照射ビームを使用しており、優れたパターン転送と機能アライメントを提供します。特殊なソフトウェアとアルゴリズムにより、フォトレジストパターニング性能の最適化を自動化し、プロセスパラメータの調整を容易にして照明の強度と波長を制御します。CONVAC 1001はまた完全な基質区域に均一な適用範囲を提供するように設計されている高度のコーティングの単位を特色にします。これにより、欠陥を最小限に抑え、フォトレジストの厚さの均一性を向上させ、フォトレジストコーティングの一貫性を確保します。このツールは高度に自動化されており、内蔵のWebベースのインターフェイスを使用してリモートで制御することができます。さらに、1001には、薄膜フォトレジストコーティングのプロセスパラメータを追跡するリアルタイム監視アセットが装備されており、高いプロセス制御とフィードバックを提供して最適なパフォーマンスを実現します。全体として、CONVAC 1001フォトレジストモデルは、幅広いオプトエレクトロニクスおよび半導体プロセス用途に最適なソリューションです。優れた性能、精度、および制御を提供し、柔軟な製造、より高い歩留まり、および低コストの製造に最適です。
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