中古 COBURN Stratum #9244709 を販売中

COBURN Stratumは、高度な光学技術とリソグラフィ技術を組み合わせて、基板の上に高品質の3次元構造を作成するフォトレジスト機器です。半導体およびマイクロ電気機械デバイス（MEMS）の多くの用途に使用されてきました。システムは、2つの主要なコンポーネントで構成されています、照明とパターニングユニット、それぞれが所望の結果を達成する上で重要な役割を果たしています。まず、照明器は基板に特定の波長の光の均一な露出を与えます。この波長は、使用されるフォトレジストの種類に応じて、紫外線から緑色になる可能性があります。希望するパターンを作成する信頼できる手段を提供するためには、光が均一でなければなりません。照明器はまたパターンで要求される細部のレベルに従って露出を変更するのに使用することができます。第二に、パターニングユニットには、ステンシル、マスク、マイクロレンズ、アライメントユニットが含まれます。ステンシルは、照明器からの光で露出した基板にパターンを描画するために使用されます。マスクは、目的のパターンを基板または基板表面に転送するために使用されます。パターン上にマイクロレンズを配置して、パターン上のフィーチャーのサイズを小さくします。アライメントマシンは、マスクの配置と最終基板の精度を保証します。マスクが配置されたら、基板に軽い露出が与えられます。これは、レーザーまたは洪水暴露技術を使用して行われます。露出後、余分なフォトレジストは開発者を使用して削除されます。開発者は、基板からフォトレジストを除去し、希望のパターンをそのままにする化学物質を含んでいます。プロセスを完成させるために、エッチングまたは蒸着技術を使用してパターンをさらに変更することができます。Stratumは強力で汎用性の高いフォトマスクツールです。半導体デバイス、MEMSデバイス、オプトエレクトロニクス部品など幅広い用途で使用されています。費用対効果が高く、納期が短いため、コストに配慮したプロジェクトに大きなメリットがあります。