中古 CLEAN AIR PRODUCTS CAP1411-636-36H #293592370 を販売中

ID: 293592370
Fume hood.
クリーンエアプロダクツCAP1411-636-36Hフォトレジスト機器は、フォトマスクやその他のフォトリソグラフィープロジェクトを作成するための高度で効率的なツールです。トップダウンパターニングアプローチに基づいており、このアプリケーションのために特別に開発された洗練されたフォトレジストを利用しています。インターフェイスは直感的で使いやすいため、フォトレジストのアプリケーションパラメータを迅速かつ正確に設定できます。このシステムは、6ポイントのシングルダイ・プラットフォーム上に構築されており、信頼性の高いダイ・チャックと位置決めのための高効率の3ジョー・チャックを備えています。レーザースポットサイズに近いダイオードアレイ照明光源と、統合された光学ビームプロファイルジェネレータを採用し、最適な線量均一性を実現しています。液浸LEDコントローラと多段ベーキングチャンバーにより、信頼性と再現性に優れた性能を提供します。さらに、調整可能な露出時間と高度な露出制御パラメータにより、アプリケーションの微調整が可能です。レジストユニット内蔵の各段式温度制御レジストユニットを搭載し、フォトレジストの温度制御が可能です。さらに、レジストユニットには、フォトレジストの均一な層を作成する内蔵のスピンコートランが装備されています。最大6インチまでの基板に対応可能で、高精度なマスクアライナーにより、高精度な機能サイズのフォトマスクやフォトマスクの大量生産が可能です。さらに、このツールには高度なデジタルイメージ処理と欠陥検出機能が搭載されており、高品質のパターンを再現可能な結果を提供します。アセットには、2段階の露出後ベークがあり、腫れや腐食に抵抗することなく、ばねのバックと露出した機能の付着を改善します。さらに、リアルタイム監視用の水晶センサー、モノクロCAL CD-ROM、パスワード保護と監査ログを備えたマルチユーザーコンピュータ制御機器などの機能を備えています。フォトレジストシステムCAP1411-636-36H、幅広いリソグラフィ用途向けに高精度フォトマスクを作成するための高速かつ効率的なプラットフォームを提供します。直感的なユーザーインターフェイス、高度な露出制御パラメータ、デジタル画像処理機能により、あらゆるフォトリソグラフィープロジェクトに最適です。
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