中古 CLASS ONE TECHNOLOGIES Solstice SLT #293632398 を販売中
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ID: 293632398
Electroplating system
Electro Chemical Deposition (ECD)
20Lpm
Head, 4"-8"
SRD Module.
CLASS ONE TECHNOLOGIES SOLSTICE SLTフォトレジスト装置は、今日の半導体および集積回路産業の要求に応えるために設計された次世代のドライフィルムフォトレジストシステムです。Solstice SLTは、超高分解能レーザーイメージングユニットであり、基板上のさまざまな回路形状を精度と精度で生成することが可能です。CLASS ONE TECHNOLOGIES SOLSTICE SLTの主な利点は、従来のフォトマスキングプロトタイピングを必要とせずにファインラインパターンを正確に生成できることです。Solstice SLTは、いくつかの異なるコンポーネントで構成された自動化されたマシンです。ベースチャンバー、レーザーイメージングプロジェクター、コンピューター制御システム、専用チャンバーが含まれています。ベースチャンバーには、フォトレジスト素材、プリントする基板、および独自のイメージングハードウェアを備えたロボットアームが含まれています。レーザー投影ツールは、基板に微細なパターンを投影するために使用されます。コンピュータコントロールシステムは、さまざまな基板やプロセスパラメータにアセットを適応させ、最大1。2 µmまでのパターンを高精度で作成できます。スペシャライズドチャンバーは、広いダイナミックレンジのイメージングや高解像度のフォーカシングなど、さまざまな分光機能と機能を使用して、レーザーモデルによって投影されたパターンが基板に正確に印刷されるようにします。また、デバイスの厚さ、光分布の強度、レーザーフォーカスオフセットなどのパラメータを正確に測定および監視する機能も備えています。さらに、CLASS ONE TECHNOLOGIES Solstice SLTには、正確なフォーカス、高速スキャン、ドリフト制御のためのさまざまな精密モーションコントロール設定が含まれています。一貫した製品出力を実現することを可能にします。サンプルからサンプルまでの一貫性を高め、サンプルの数千行以内の製品を保証する高速機能を備えています。Solstice SLTは、さまざまな高度な基板上の回路および集積デバイスの製造に対応する汎用性の高いソリューションです。高い収量と低い納期を確保し、小型化により様々な設定に最適です。レーザー投影装置は、最大1。2 µmのサイズのパターンを生成することができ、信頼性が高く信頼性の高いフォトレジストシステムです。
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