中古 CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 #9267665 を販売中
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CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600フォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクス部品の製造に使用されるフォトリソグラフィープロセスの精度と精度を向上させるために設計されたシステムです。このユニットは、高解像度の光学イメージングマシンと、沈着技術とウェットエッチング技術を使用した高度なin-situ開発ツールを組み合わせて、厚さ250nmの高精度な機能を作成します。8600 Photoresist Assetは、多層イメージング技術を使用して、開発された機能と基板の間の高コントラストを達成します。CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600フォトレジストモデルは、正確なパターン配置とイメージングのための高解像度の光学イメージング装置で構成されています。フォトレジストの特徴と基板との間に高いコントラストを生み出します。このシステムには、機能開発時の精密露光用の高解像度モーションコントロールユニットが含まれています。多層マスキング技術では、個々のレイヤーイメージングが可能です。8600フォトレジストマシンは、開発中のチャンバー内のフォトレジスト機能を最適化するために、高度なin-situ蒸着技術を採用しています。この蒸着技術は、フォトレジストの開発後の蒸着と、フラックス駆動のエッチングによって高精度な機能を作り出す2つの段階で構成されています。エッチングは、ウェットケミカルエッチング剤と反応源ガスの組み合わせを使用して、希望するフォトレジストフィーチャージオメトリを作成します。CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Toolには、フォトリソグラフィの最適化とプロセスオートメーションのための高度なソフトウェアツールも含まれ。グラフィカル、テキストベース、コマンドラインベースのプログラムインターフェイスなど、複数のユーザーインターフェースオプションが組み込まれているため、迅速かつ簡単なセットアップとプロセス変更が可能です。さらに、このアセットは、環境内のさまざまな条件を考慮した均一な機能開発のためのインテリジェントなオートメーションモデルを利用しています。8600フォトレジスト装置は、迅速なターンアラウンドタイムで優れた精度と精度を提供します。フォトリソグラフィープロセスのスループットと信頼性を最大化したいメーカーにとっては、優れた選択肢です。この高度に自動化されたシステムは、優れた均一性と均一な線幅の高分解能パターンを生成するために使用することができます。自動化されたソフトウェアツールにより、CLASS ONE TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600フォトレジストユニットはフォトリソグラフィのセットアップと操作を簡素化します。
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