中古 CETC LXS-800 #9073945 を販売中

CETC LXS-800は、研究開発、マイクロチップ生産、およびその他の産業で使用される最先端の微細加工プロセスをサポートするように設計された高精度フォトレジスト装置です。これは、標準および特殊なプロセスを実行する柔軟性を備えた、プロセスの安定化と均一性のために設計された完全に自動化されたシステムです。その特徴は、大きなウェーハ処理領域（最大8インチ）、均一な露出源、レチクルまたはステップアンドリピート露出ユニット（フィールド露出と大面積パターン露出の両方）の選択、および欠陥検査用のマシンビジョンなどです。フォトレジストマシンLXS-800、ホストコンピュータ、アセットレベルのアーキテクチャ、フォトレジストモデルのすべてのパラメータを監視および制御するために設計されたソフトウェアなど、高度に統合されたツール制御プラットフォームによって駆動されます。ソフトウェアは、個々のパラメータだけでなく、機器の全体的なパフォーマンスの監視を可能にし、異なるプロセス条件を学習し、理解するために使用することができます。使いやすいソフトウェアを使用して、レシピパラメータを変更して歩留まりとスループットのパフォーマンスを最適化することもできます。このシステムの汎用性の高いチャンバー設計を利用して、ユーザーは特定のプロセス要件を満たすために湿式または乾式の処理方法を選択できます。取り外し可能なプロセスカセットにより、異なるプロセス要件の再構成が容易になり、プロセス工程間の最適な環境分離が保証されます。CETC LXS-800は、過剰および過剰処理のリスクを最小限に抑え、信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計されています。高精度フォトレジストマシンは、より厳しい線幅要件を達成し、フォトマスキングエラーを低減することができます。特定のプロセス要件に最適な精度を提供し、複雑、高密度、または特殊なフォトマスキングおよびフォトリソグラフィープロセスに優れた結果を提供します。このツールの優れた性能とユーザーフレンドリーなインターフェースは、研究開発およびマイクロチップ生産設備にLXS-800最適です。また、信頼性の高い資産と手間のかからない操作により、CETC LXS-800フォトリソグラフィーニーズにとって費用対効果の高いソリューションとなります。