中古 CETC LXS-1000 #9073952 を販売中

China Electronic Technology Group CETC LXS-1000は、さまざまな基板上の接触穴、トレンチ、およびその他の機能をパターン化するために使用されるフォトレジスト機器です。このシステムには、レーザー源、統合制御ユニット、真空チャンバー、および精密X-Yテーブルが含まれています。レーザー光源はYbレーザーに基づいており、出力エネルギー波は10ワット、パルス長はピコ秒からナノ秒です。このレーザーソースは、パターニング用の基板に焦点を当てた正確に制御されたレーザーパルスを生成することができます。レーザーコントロールユニットは、ユニットに統合されており、ユーザーが希望のパターンや構成を実行するためにレーザーをプログラムすることができます。また、レーザーの遠隔操作を可能にするユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーはリアルタイムでパルスパラメータをすばやく調整できます。真空チャンバーは、反応時間を短縮し、高いスループットを確保するために、動作中の機械の雰囲気を正確に制御するために使用されます。これは、フォトレジストパターニングのプロセスにとって特に重要です。LXS-1000ツールのX-Yテーブルは、パターニング中の基板の高精度な位置決めを提供します。基板の位置決めとアライメントの精度を保証する自動ドライブアセットを搭載しているため、ユーザーは1回の操作で基板の配列に特徴を正確にパターン化できます。これは、複数の機能の正確な位置決めを必要とする大面積の基板をパターン化するために特に有益です。全体として、中国電子技術グループCETC LXS-1000は、さまざまな基板に接触穴、トレンチ、またはその他の機能をパターン化するときに高精度と精度を提供することができる高度なフォトレジストモデルです。集積レーザー源、強力なレーザー制御ユニット、真空チャンバー、基板の正確な位置決めを可能にする高精度なX-Yテーブルを備えています。この装置は、大量生産プロセスに不可欠な高速で正確で信頼性の高い結果を提供することができます。