中古 CANON CDS-650 #9111494 を販売中

キヤノンCDS-650フォトレジスト装置は、高解像度半導体ウェーハの開発における最先端技術です。このシステムは、フォトレジスト（PR）技術とリソグラフィ技術を組み合わせて、半導体基板に可変厚PR膜を堆積させます。CDS-650フォトレジストユニットは、半導体製造および研究開発アプリケーションに特に適しています。キヤノンCDS-650フォトレジストマシンには、スピン/デベロッパーモジュールと露光モジュールからなるモジュラーレジストステーションが装備されています。Spin/Developer Moduleには、モーター式スピンコーターとバブラーを備えたスピンコーターがあり、デジタル温度、RPM、タイマー制御を備えています。露出モジュールは、熱放散とレジストの周囲温度の影響を低減するために完全に囲まれたフォトリソグラフィー暴露を収容します。CDS-650の直感的なソフトウェアインターフェイスにより、プロセスパラメータの直接操作が容易になり、ユーザーは簡単に設定を選択して正確に調整することができます。これにより、外部制御システムや複雑なセットアップが不要になります。必要なパラメータが設定されると、ツールはデータセットをロードし、すべてのプロセスパラメータを自動的に設定し、プロセス全体を管理してバッチ間の一貫性を向上させます。CANON CDS-650には、レジストプロファイルの手作業による目視検査が不要な画像解析アセットもあります。このモデルは、レジストの一連の画像を取り、自動的にレジストの高さ、向き、厚さ、および均一性を分析し、それによって特性の迅速な確認とプロセス全体の制御の改善を可能にします。Spin/Developer ModuleとExposure Moduleに加えて、CDS-650 Photoresist Equipmentにはレジスト対応のストレージとストレージ補償されたウェハ転送システムが装備されており、ユニットの生産性が向上します。このウェーハトランスファーマシンは、最適なレジスト再配布と堆積戦略、およびスループットを最大化するためのウェーハとストレージコンパートメントの迅速な再起動を容易にします。CANON CDS-650 Photoresist Toolは、最高の膜厚カバレッジで優れたスループットを提供し、業界最高水準の正確なウエハ生産を提供します。高度な技術と直感的なユーザーインターフェースを備えたCDS-650 Photoresist Assetは、高解像度の半導体ウェーハの製造に最適です。