中古 CANON CDS-650 #9111287 を販売中

CANON CDS-650は、半導体に薄膜パターンを形成するフォトレジスト機器です。このシステムは、サブミクロン精度で高解像度のパターンを生成することができる優れた光学ユニットを備えています。このマシンは、長波長紫外線ランプと短波長紫外線ランプのユニークな組み合わせに基づいたフォトリソグラフィの新しいソリューションを利用しています。CDS-650に300mmx300mmの最高の基質のサイズがあります。このツールは、10ビットのダイナミックレンジを備えた1024 x 1024ピクセルのCCDカメラを使用して、レンズイメージングを備えたCeASTAR-300リトマスクアライナーを使用して、フォトマスクの高精度なアライメントを可能にします。キヤノンCDS-650には同軸LED駆動のポジショニングヘッドがあり、正確なアライメントを実現するサブミクロン精度を提供します。CDS-650は、高度なCANON LEXT OLS 4000レーザースキャニング共焦点顕微鏡技術を採用し、優れた解像度とパターン忠実度を提供します。このアセットは、0。25ミクロンの最小機能サイズを達成できるため、マイクロエレクトロニクスアプリケーションに適しています。このモデルのフォトレジストソリューションは、高解像度イメージングに必要な高反応性光活性化合物（PAC）を含む試薬に基づいています。これらのPACは基板表面に吸着され、フォトレジストの急速かつ均一な照射を可能にします。CANON CDS-650は、この独自のプロセスを利用して、印象的な解像度で薄膜パターンを形成します。この機器には、ユーザーの安全性を高めるために設計されたいくつかの機能もあります。ウェーハの自動積載システムにより、ウェーハの取り扱いが容易になります。安全インターロックユニットは、フォトレジスト加工部外の紫外線（UV）露出を防止します。さらに、このマシンは、紫外線露光レベルが許容範囲外の場合にオペレータに警告する安全モニターを備えています。一貫して高品質の結果を保証するために、CDS-650はプログラマブルシャッターを使用して、必要に応じてウェーハへの紫外線露出を拒否します。このシャッターはまた紫外線露出レベルを最小にするのに役立ちます。さらに、このツールは排気換気アセットと排気制御モジュールを内蔵しており、危険な蒸気が安全に排出されるようにしています。全体的に、キヤノンCDS-650は、一流の解像度と精度で薄膜パターンを形成する信頼性の高いフォトレジストモデルです。その優れた光学機器、試薬ベースのフォトレジストソリューション、およびユーザーの安全機能により、このシステムは要求の厳しいマイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適です。