中古 CANON CDS-630R+ #293796124 を販売中
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CANON CDS-630R+は、高度な半導体包装アプリケーション向けに設計された完全自動フォトレジスト装置です。業界最高の生産性、コスト、品質レベルを提供します。このシステムは、フォトレジストストリッピング、研磨、検査用のコンパクトでモジュラープラットフォームで構成されています。ユーザーインターフェイスは、すべての機能や機能に簡単にアクセスできるように設計されています。単位は理性的なオートメーションと統合され、5つまでプロセスツールを支えることができます。フォトレジストマシンは、ストリップ、研磨、検査、グラファイト蒸着などの高度な半導体プロセスのための単一のプラットフォームを備えています。最大転送速度0。25m/secの効率的なプロセスと短いサイクルタイムを提供します。また、最大4。0m/minの研磨速度や、高精度の研磨面を再現可能な精度で提供するなど、高度な研磨能力を備えています。さらに、最大10m/minのデポジット速度と、表面仕上げを改善し、全体的な加工コストを削減する革新的なコーティング技術により、グラファイト成膜能力を強化しています。このモデルには、リアルタイムのフィードバックとプロセス監視を提供する高度なプロセス制御センサーも含まれています。統合された低メンテナンス設計により、オペレータはさまざまなプロセスのレシピを簡単かつ迅速に変更できます。CDS-630R+は、光学顕微鏡機能、共焦点イメージング、自動欠陥解析などの高度な検査機能も備えています。高度な光学検査機能により、フォトレジスト層または製品部品の欠陥や欠陥をオペレータが検査することができ、より高い歩留まり結果と完成品の品質向上を実現します。また、製品トポロジの自動ライン図面や3D CADモデルなどの可視化機能も備えています。全体として、CANON CDS-630R+は、高度なフォトレジストおよび半導体パッケージングアプリケーション向けの完全な機能セットを提供します。優れた性能、改善された品質、費用対効果を提供し、あらゆる生産環境に最適なソリューションです。
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