中古 CANON CDS-630 #9269121 を販売中
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キヤノンCDS-630は、産業用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。最新の既製イメージング技術とマスターファブリケーションの知識を組み合わせて、産業用途で使用するためのレジスト基板のイメージングと準備における高度な機能を提供します。アクリル、ポリイミド、ポリエステル、エポキシなど、幅広い基板タイプの加工が可能です。CDS-630は、希望するフォトレジストパターンや画像を作成するためのデジタルイメージングユニットを利用しています。これは、高分解能の線形可変分散分光計と光学偏光顕微鏡を組み合わせて、基板の可視画像と紫外画像の両方を正確にパターン化することで構成されています。イメージングマシンは、基板やアプリケーションの要件に応じて、インチからミクロンまで、さまざまな画像サイズを生成することができます。フォトレジストの成膜には、よく混合された容器に分注されたソルゲル溶液を使用し、そこから微細なノズルを介して垂直スプーリングチャンバーに注入しCDS-630。これにより、基板上の成膜の均一性とパターンの均一性が保証されます。その後、基板をあらかじめ設定された温度に加熱し、真空を適用して、存在する可能性のある過剰抵抗液を除去し、空気清浄プロセスを作成します。フォトレジストが硬化したら、ポストベーク操作を利用して画像をさらに高めることができます。照射、洪水暴露、電気めっきなどがあります。これに続いて、エッチバックおよびフォトアシストプロセスが利用可能であり、基板のさらなる洗浄と準備が可能です。スピンコーター、酸性エッチャー、金型など、様々な実験機器も手作業で加工できます。全体的CDS-630、フォトレジストツールは、産業用途向けの信頼性と能力の高い画像処理ソリューションです。高度なイメージングとパターニング機能により、高解像度で均一な複雑なパターンを作成するのに最適です。さらに、その幅広いポストベーク操作は、柔軟性とカスタマイズ性に優れているため、特定の用途に合わせて幅広い基板タイプを適切に準備することができます。
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