中古 CANON CDS-630 #9181760 を販売中

CANON CDS-630
製造業者
CANON
モデル
CDS-630
ID: 9181760
ウェーハサイズ: 5"
Coating system, 5"
キヤノンCDS-630は、さまざまなフォトマスク用途に最適な精度と精度を提供する高度なフォトレジスト装置です。これは、フラットパターン回路、薄膜トランジスタ、および光学部品を印刷するリソグラフィープロセスに適しています。このシステムは、スムーズで正確な手順を保証するために最上位の機能で設計されており、ユーザーは短時間で高解像度の結果を得ることができます。CDS-630は、最高品質の画像を生成するパターンの高解像度投影を提供しています。これは、Xenon Arcソースからの光を集中させる分解能を強化した投影光学モジュールを使用することによって可能になります。また、可動グラファイトストリップFSI (Field Scanning Illumination)ミラーユニットにより高速スキャンが可能です。また、CDT (Contrast Detection Technique)を採用し、パターンと背景のコントラストを高め、解像度を向上させています。CANON CDS-630はまた、望ましいパターンを達成するために不可欠な高い露出安定性を提供します。これは、光エネルギーが均等に分布していることを確認するために露出を正確に監視する独自の制御ツールによって可能になります。アセットの安定性は+/-0。05%であり、ユーザーのニーズに応じて露出サイクルごとに露出を変更することができます。また、CDS-630はまた、ユーザーが素早く簡単に自分のフォトマスクプログラムを設定することができます広範なオートメーションモデルを提供しています。オートメーション装置は、正確な精度で光エネルギー、露光線量、露光時間を制御することができます。これにより、一貫したパターン品質と信頼性の高いフォトレジスト応答が保証されます。最後に、キヤノンCDS-630は環境負荷低減のため、電力・水使用量を最小限に抑えた環境負荷低減システムです。このユニットは、プロセス後の洗浄プロセスを最小限に抑えるように設計されており、ユーザーは全体的な費用をさらに削減することができます。CDS-630は、あらゆるフォトマスク用途に理想的なソリューションであり、究極の精度と精度を提供します。この先進的なマシンは、高解像度の投影、高速スキャン、優れた露出安定性、自動化されたプロセス制御を提供します。CANON CDS-630は、最小限の労力とコストで短時間で高品質な結果を達成したい人に最適です。
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