中古 CALITECH CT-805D #9289491 を販売中

CALITECH CT-805D
製造業者
CALITECH
モデル
CT-805D
ID: 9289491
ヴィンテージ: 2009
Spin Rinse Dryer (SRD) 2009 vintage.
CALITECH CT-805Dは、半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、およびその他のマイクロエレクトロニクス用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、シリコン、ガリウム-ヒ素、窒化アルミニウムなど、幅広い基板に対応できます。このユニットは、エッチング処理をより正確かつ一貫したものにするために設計された幅広い機能を備えています。このマシンは高解像度のステッパー/スキャナーツールで構成されており、ユーザーは光子ビーム投与量を簡単に調整して、連続的または多様な複雑さのパターンを達成することができます。このアセットには、リニアガルバノメーター光学スキャンモデルが搭載されており、ビーム形状を精度と再現性で維持することができます。さらに、複雑なパターンを自動エミュレーションするデバイスも備えており、フォトレジストのエッチング処理で一貫した結果を得ることができます。また、複雑なレジストパターンを正確に検出して登録する高度なレジストサポートユニットも備えています。最後に温度制御装置を搭載し、光線の照明に対するフォトレジストの反応を正確に制御し、基板の損傷を回避します。CT-805Dは、薄膜成膜、抵抗パターニング、接触露出、ライン照明など、幅広いフォトレジストエッチング用途に適しています。廃棄物を最小限に抑え、信頼性の高い一貫した結果を生み出し、大量の半導体デバイスやその他のマイクロエレクトロニクス製品の効率的な生産を可能にします。このツールには、真空チャックと最先端の抵抗/容量性ゲージアセットが装備されており、レジストの厚さを正確に推定できます。さらに、複雑なレジストパターンを簡単に操作できるソフトウェアパッケージが付属しています。全体的に、CALITECH CT-805Dは信頼性の高い結果と高精度のエッチング処理を提供する高度なフォトレジスト機器です。半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、その他マイクロエレクトロニクス製品の製造に最適です。
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