中古 CALITECH CT-805D #9219676 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9219676
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2009
Spin rinse dryer (SRD), 8"
(2) Drums
WF Type
2009 vintage.
CALITECH CT-805Dは、集積回路(IC)業界の二次カプセル化プロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。さまざまな基板にフォトレジストを適用する信頼性が高く、高速で安全な方法を提供し、多くの高度な機能を備えた可変速度のダイレクトドライブシステムです。フレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーなユニットで、直感的で簡単な操作を提供します。CT-805Dにフルカラーの7 "LCDのタッチ画面があり、オペレータがさまざまな機能を容易に制御し、調節することを可能にします。ユーザーがPCからプログラムファイルをアップロードしてダウンロードできるUSBポートも付属しています。最大3軸同時制御が可能で、精密かつ再現性の高い動作が可能です。CALITECH CT-805Dは、ツールチェック、ライブHMIプレビュー、アセットを元の状態に自動的にリセットする機能を含む自動メンテナンスなどの高度な機能を備えています。また、基板の表面温度を監視し、基板へのフォトレジスト沈着を防止する光学センサーを搭載し、均一で正確な沈着層を確保しています。このモデルにはさまざまなノズルが付属しており、それぞれがさまざまなアプリケーション要件に最適化されているため、多くのタイプの蒸着に最適化されています。ノズルは容易に取り替えることができ、フォトレジストの点滴の縞を防ぐ革新的なファンの妨害システムがあります。CT-805Dは、加熱と冷却の両方を利用して、さまざまな基板上で均一なフォトレジスト厚を実現する2段の高度チャンバーユニットです。また、スクラブやクリーニングなどの他の自動化されたプロセスをサポートすることもできます。このマシンには、蒸着プロセスを監視して一貫した結果を保証する高度なフィードバック制御ツールも装備されています。アセット上の追加機能には、プロセスデータロギングモデルが含まれています。これは、より良い監視と分析のために外部コンピュータに接続することができます。全体として、CALITECH CT-805Dは信頼性の高い正確なフォトレジスト装置であり、異なる基板にフォトレジスト層を迅速かつ正確に堆積させ、再現性のある結果と一貫した正確な層の堆積を保証します。その多くの高度な機能により、ユーザーはさまざまなプロセスを迅速かつ簡単に制御および調整することができ、生産効率を最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。
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