中古 CALITECH CT-608D #293760256 を販売中

CALITECH CT-608Dは、シリコン、金属合金、先端材料など、さまざまな基板上で高精度で信頼性の高いレジストパターニングを提供する最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、粒子汚染を低減し、リソグラフィの解像度と精度を向上させるために、最新の最先端のフォトレジストスライシング、イメージング、および開発技術で特別に設計されています。CT-608Dは、8インチのウェーハカセットに紫外線（UV）レーザー源を使用し、モーター付きウェーハハンドリングステーションに取り付けられています。レーザーを使用してフォトレジストパターンを基板に正確にカットします。さらに、CALITECH CT-608Dは、パターンを基板にエッチングする前にエラーを最小限に抑えるユニークなアップフロントアライメントマシンを備えています。レーザー光源は、さまざまな材料のニーズをサポートするために、紫外線から赤外線まで、さまざまな波長を提供することもできます。このツールは、基板内の任意の非均一性を検出して補償し、レジストラインが正確に描画および画像化されるようにすることもできます。このアセットには、露光時間、レーザーパワー設定、およびその他のイメージングパラメータを正確に制御できるクローズドループのレシピ制御イメージングモデルが装備されています。これにより、ユーザーは特定の要件と基板タイプにリソグラフィープロセスを一致させる柔軟性を提供します。この装置は、高解像度カメラとコンパクトな光学機器を備えており、いずれも画像処理の解像度と再現性を向上させるように設計されています。また、5軸レプリケータは細かいディテールに余分な解像度を提供し、非シャープネスのアーチファクトを低減するように設計されています。また、パターンエラーや破片を検出できる自動検査システムを内蔵しています。CT-608Dにはパッチャードライバーユニットもあり、ワイヤーボンドのずれを引き起こす可能性のあるパターンの分散を低減するように設計されています。さらに、このマシンにはレジスト開発ツールが内蔵されているため、ユーザーは外部アセットを必要とせずに簡単にウェーハをロードしてクリーンにすることができます。この開発モデルには、基板表面から残留抵抗を除去するオートデスミア機能が含まれており、ナノファブリケーションの改善に役立ちます。CALITECH CT-608Dは、強力で信頼性が高く、高精度なフォトレジスト装置であり、さまざまな材料に最高品質のフォトレジストパターンを一貫して提供することができ、最も要求の厳しいリソグラフィープロセスのために自動化された正確なイメージングプロセスをユーザーに提供します。