中古 CALI-TECH CT-608D #9252347 を販売中

CALI-TECH CT-608Dは、高度なUVリソグラフィ処理用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、薄膜材料の堆積と開発に使用され、より小型の高性能な回路やデバイスを作成します。CT-608Dは、研究および産業用途の両方に適した高解像度フォトリソグラフィープロセスを提供するように設計されています。その中核となるコンポーネントには、露出装置、開発機械、開発後の処理ツール、およびウェーハ処理のための自動化された資産があります。露光モデルは、365nm〜395nmの波長範囲の大判UV強烈な発光ダイオード（LED）で構成されています。この波長範囲は、フォトレジスト層を選択する際の柔軟性と、複数の露光技術の実装を可能にします。本開発装置は、フォトレジストの温度を一定水準以下に保ちながら、フォトレジストの開発を行うことができる二段階高速ウェット開発システムを搭載しています。これは、フォトレジストの損傷を避けるために、温度が特定の閾値を下回る必要がある超薄型フォトレジストプロセスにとって特に重要です。開発後のユニットは、スピンドライモジュールで構成されています。フォトレジストをすすぎ、さらに加工する前に乾燥させるために使用されます。自動化されたウェーハハンドリングマシンは、高度に自動化されたワークフローを提供し、一度に最大30のウェーハを処理できます。高度なウェーハ搬送ロボットと完全に互換性があります。CALI-TECH CT-608Dのパフォーマンスは、さまざまなラボや産業環境で実証されています。2ミクロン以上の極薄フォトレジスト層に対応可能です。信頼性が高く効率的であり、高度なリソグラフィ業界の生産プロセスに最適です。