中古 CALI-TECH CT-608D #9151584 を販売中

CALI-TECH CT-608D Photoresist Equipmentは、半導体産業の用途向けに設計された、高度で高性能なエッチングおよび成膜ツールです。スパッタやプラズマエッチング、薄膜成膜、レジストストリップに最適です。このシステムは、直径6インチまでの幅広い基板に対応できる大容量のチャンバーを備えています。その縦の設計は容易な維持および処理の柔軟性のために部屋の内部への容易なアクセスを、提供します。このユニットは、高度なマスフローコントローラを使用してプロセスガスを調整し、精密制御を保証します。また、革新的なプラズマ発生器と最適化されたプラズマ生成のためのマッチングネットワークシステムも備えています。CT-608Dフォトレジストマシンは、高性能エッチングおよび蒸着プロセス用に設計されています。精密フォトリソグラフィーツールとコントローラを搭載し、基板上の形状や寸法を正確に定義できます。フォトリソグラフィーツールは、光の伝達、露出、紫外線（UV）放射、および露出後のベーキング、および深紫外線が光の露出に抵抗することを可能にします。エッチングの均一性を確保するために、このツールは独自のパルスパワーモジュール（PPM）を使用しています。これにより、調整可能なパルス周波数、パルス幅、およびパルスエネルギーが可能な限り最良の結果を得ることができます。CALI-TECH CT-608Dフォトレジストアセットには、サンプル表面に埋め込まれたフォトレジストパターンの完全性とイオンエネルギーのレベルを監視するために使用できる走査型電子顕微鏡（SEM）も含まれています。CT-608D Photoresist Modelは、優れたプロセスと冷却機能を提供します。Dynamic Spray Cooling （DSC）は、基板の表面積を均一に冷却し、満足のいく温度プロファイルを維持します。冷却機能により、温度安定化時間を最小限に抑えた高速プロセスを実現し、スループットの向上を実現します。このシステムには、熱放射シールド、およびプロセスチャンバーへの低周波の周囲ノイズの影響を低減するためのノイズ障壁も含まれています。環境負荷低減のため、過剰な材料を安全に廃棄する空気・ガスサイクリングシステムを導入しています。CALI-TECH CT-608Dフォトレジストマシンは、半導体業界にとって非常に強力なツールです。高度なツール機能により、プロセスの柔軟性と環境負荷の低減を実現し、高精度フォトリソグラフィとパルスパワー技術により、高精度のエッチングと成膜を実現します。CT-608D Photoresist Assetにより、ユーザーは最小限の時間と労力で信頼性の高い高品質の基板を製造できます。