中古 CALI-TECH CT-605D #9236280 を販売中

CALI-TECH CT-605D Photoresist Equipmentは、フォトレジスト材料の精密イメージングと除去のために設計された多機能ユニットです。フォトレジスト（Photoresist）とは、光の露出量の異なる応用によって、ある状態から別の状態にシフトする材料の一種である。このシステムは、精密露出、開発、乾燥を組み合わせた処理の各ステップを正確に制御します。このユニットは、優れたイメージング性能のためのフルフィーチャーの高出力露光ユニットを提供しています。このマシンは、可変倍率を持つスキャンマスク整列パワー対物レンズを使用しており、幅広い画像フィールドのサイズと0。12ミクロンまでの同等の機能サイズを可能にします。この露光源は、波長248nmのエキシマレーザーを180mwの持続電力で使用し、従来のステッピングシステムのほんの一部のコストで優れたイメージング性能を提供します。また、通信ケーブルを使用して、複数の露出ヘッドの使用をサポートしています。このツールのモジュール性により、さまざまなアプリケーションに理想的なソリューションとなります。使いやすいソフトウェア制御により、異なるフォトレジスト材料やプロセスのパラメータを簡単に設定および調整できます。このアセットには、露出していないフォトレジストを除去するための乾燥チャンバーも含まれており、フォトレジストプロセスのすべてのステップで追加の機器へのI/O接続が組み込まれています。このモデルには、マスクと基板の間の焦点を自動的に調整するオートフォーカス装置や、プロセス中にオペレータにエラーを自動的に通知することができる内蔵のエラー検出システムなどの追加機能が含まれています。CT-605Dフォトレジストユニットは、すべてのフォトレジストプロセスに精密制御と信頼性の高いパフォーマンスを提供する高度で汎用性の高い費用対効果の高いツールです。