中古 C&D SEMI P-8000 #293679284 を販売中

C&D SEMI P-8000 Photoresist Equipmentは、半導体デバイス製造における高度なマイクロメータスケールパターンの製造に使用される高性能、完全に自動化されたフォトリソグラフィーシステムです。このユニットは、光学イメージングサブシステム、レジストコーティングサブシステム、アライメントおよびリソグラフィーサブシステムで構成されています。光学イメージングサブシステムには、光源、レンズ、多層ミラー、および関連する電子機器が含まれています。パターン化されたフィルムに精密なマイクロメータスケールの特徴を作成するために、<1µmの解像度で最適化された動的光場シーケンスを出力するように設計されています。また、必要な消費電力を削減し、安定したプロセス条件を保証するLED照明を備えています。レジストコーティングサブシステムには、真空コーティングステーション、レジストカセット、レジストノズル、基板ホルダーが含まれています。印刷される媒体から切り離された滑らかなノズル操作を提供することにより、粒子関連の欠陥を防止する独自のアプローチを利用しています。これにより、必要な量のレジストのみが適用されるため、必要な材料消費量も削減されます。最後に、アライメントとリソグラフィーサブシステムには、電動ステージ、トラッキングマシン、ソフトウェアコントローラが含まれます。レジストフィルムの成膜工程において、ウェーハの位置決めを最適化し、精度を最大化する責任があります。ソフトウェアコントローラはまた、光源の露出パラメータを調整して、塗装面で作成されたフィーチャーを正確に制御します。全体として、C&D SEMI P8000フォトレジストツールは、半導体デバイス製造における複雑なパターンを作成するための強力で高精度なツールです。高レベルのコンポーネント統合により、信頼性の高い動作と再現性の高い結果が保証され、ユーザーは1µmまでの機能をコスト効率よく作成できます。