中古 C&D SEMI 2-TRK:I/8626/36/36/I #9133837 を販売中

C&D SEMI 2-TRK:I/8626/36/36/I
ID: 9133837
Coater / Developer systems.
C&D SEMI 2-TRK:I/8626/36/36/Iは、要求の厳しい半導体生産環境のために特別に設計された産業グレードのフォトレジスト加工装置です。システムの設計は、1回の実行につき最大8,626個のウェーハと36インチウェーハサイズの信頼性の高い均一な処理を提供します。C&D SEMI 2-TRK:I/8626/36/36/Iユニットは、独自のコントロールパネル、真空機、フォトリソグラフィック生産機能を備えた2つの独立した加工チャンバーで構成されています。フォトレジストツールの主な特徴は、処理されたすべてのウェーハに対して均一で反復可能なフォトレジスト結果を生成することです。これは、隣接する2つのウェーハまたは隣接していないウェーハ上で同じパターンを生成できる2つの独立したフォトリソグラフィック露光システムによって達成されます。各チャンバーは、フォトレジストの処理のために個別に最適化することができ、ダウンタイムとコストを最小限に抑えます。さらに、ソフトウェアによるプロセス最適化を自動化し、ダウンタイムを最小限に抑えたウェーハの再現性を実現します。この自動化されたプロセス最適化により、ウェーハの歩留まりを向上させるとともに、生産にかかるコストと時間をさらに削減できます。C&D SEMI 2-TRK:I/8626/36/36/Iアセットは、最大300°Cの温度範囲と最大10-7 torrの真空モデルを備えています。装置は制御されたマスクの露出を提供するプログラム可能なシャッターシステムが装備されています。この機能により、単一のウェーハ露出または複数のウェーハのバッチ露出が同じ実行で可能になり、処理時間がさらに短縮されます。このユニットはまた、船上の粒子監視機を含むクラス100のクリーンベンチ技術を利用しています。これにより、汚染のモニタリングだけでなく、粒子レベルを最適に制御し、クリーンな作業環境を確保することができます。C&D SEMI 2-TRK:I/8626/36/36/Iフォトレジストツールは、半導体生産環境に業界をリードするフォトリソグラフィック生産を提供するための包括的な機能セットを提供します。このアセットは、幅広い温度、圧力、および光石器露光時間の正確な制御を提供します。ソフトウェアベースのプロセス最適化により、ダウンタイムとコストを最小限に抑えて再現可能な生産プロセスを実現します。このモデルのクリーンベンチ技術は、環境に汚染物質がないことをさらに保証します。この強力で信頼性の高いフォトリソグラフィック生産装置により、製造メーカーはコストと時間を削減して高品質のウェーハ収率を製造できます。
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