中古 C&D SEMI 2-TRK:8626/36/36/I #9177294 を販売中

C&D SEMI 2-TRK:8626/36/36/Iは、正確で反復可能な結果を必要とする精密材料加工アプリケーション向けに設計された適応可能なフォトレジスト機器です。このシステムは、薄膜蒸着、フォトリソグラフィー、エッチング、イオン注入など、複数の処理ステップにわたるさまざまなフォトレジスト材料で使用するように設計されています。このユニットは、フォトリソグラフィ用とエッチング用とイオン注入用の2つのトラックで構成されており、それぞれが幅広い基板と材料に対応するように構成することができます。フォトリソグラフィートラックは、標準的な正と負のフォトレジスト、およびさまざまな露出前および露出後のレジスト技術と互換性があり、フィーチャーサイズが6。5ミクロンと小さい構造物のピンポイント精度を実現できます。エッチング/イオンインプラントトラックは、サブミクロン精度で材料を処理することができ、エッチング速度と指向性イオン注入を正確に制御することができます。このマシンは、エッチング性能を向上させるための内部圧力チャンバーや、エッチングパラメータをさらに制御するためのプラズマジェネレータなど、追加のコンポーネントとアクセサリで構成することができます。高度なフォトリソグラフィとエッチング技術を組み合わせたC&D SEMI 2-TRK:8626/36/36/Iは、ディープサブミクロン材料加工に信頼性と再現性の高いプロセスを提供します。半導体デバイスの製造から精密光学系まで幅広い用途に対応しています。