中古 C&D SEMI 2-T:I\8838\8844\88SMC\8836\I #9177167 を販売中

C&D SEMI 2-T:I\8838\8844\88SMC\8836\I
ID: 9177167
ウェーハサイズ: 2"-3"
Automated photoresist track coater, 2"-3" (2) Tracks Cassette to cassette.
C&D SEMI 2-T: I\8838\8844\88SMC\8836\I「フォトレジスト」装置は、高精度の電子部品の製造に使用される自動コーティングアプリケーションシステムです。多層、幅広い表面に均一で高品質なコーティングを実現するために、さまざまな独自の技術と機能を活用しています。ユニットは、均一で一貫したコーティングを作成するために、高度なイオンビーム補助蒸着(IBAD)技術を使用しています。プロセスチャンバー内の部品のスペキュラーエンドをターゲットとした重いイオンビームを利用して、他の方法よりも細かい制御で均一なコーティングプロセスのためのプラットフォームを提供する原子のメッシュのグリッドを作成します。IBAD技術はまた、コーティングと基板の間のより強い結合を作成します。これは、製造中の製品の成功を確実にするために不可欠です。このツールはまた、スピン投票洗浄プロセスを利用しており、コーティングがボード全体に均等に分布するように設計されています。スピン投票プロセスは、沈着速度を正確に制御するため、フォトレジストでの使用に理想的です。これにより、最も一貫した均一なコーティングが可能になります。C&D SEMIアセットには、設計の高精度なウェハレベルの再現を作成するために使用される複数ソースの粒子シミュレーションチャンバーもあります。粒子シミュレーションチャンバーは、高度な粒子追跡モデルを使用して、さまざまなパターン、形状、角度を正確にシミュレートします。これにより、再現精度と製品の均一性を向上させる高精度な部品の製造が可能になります。さらに、スパッタエッチング、ポストエクスポージャー、デスミアなどの自動コーティングおよびポストプロセスの使用も統合されています。自動化されたシステムは、素早く正確に部品を仕上げるために使用できる酸浴、溶媒チャンバー、および熱反射室で構成されています。これらのプロセスにより、再現性と均一性が向上し、製品開発に要する時間が短縮されます。C&D SEMI 2-T: I\8838\8844\88SMC\8836\Iユニットは、フォトレジストコーティングを適用する際に可能な限り最高レベルの精度と均一性を提供するように設計されています。高度なIBAD技術、スピン投票洗浄プロセス、自動化されたポストプロセスにより、このフォトレジストマシンはあらゆる組織の生産プロセスの不可欠な部分です。
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