中古 BUHLER / LEYBOLD OPTICS UCS 40 #9363015 を販売中

BUHLER/LEYBOLD OPTICS UCS 40は、半導体業界で使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトリソグラフィ技術を使用して基板上にパターンを作成し、高解像度のSEMI標準BSIM3v3モデルを使用して精度を高めます。このユニットには、高度な露光ユニット、超高精度の電気機械ステージ、およびキセノンランプライトソースが装備されています。操作の露出段階では、上部基板はマスクに複製されたパターンにさらされます。マスクはレーザーによって照らされ、適当な強度に変調され、基質に集中されます。露光ユニットは、レーザーの最大強度に到達し、被曝が基板全体で均一であることを保証します。露出後、マスクからシリカベースのレジストに画像を転送し、基板上に分散して開発段階に入ります。開発段階は、マスクパターンに応じて露出抵抗の特定の領域を増減するように設計されています。これは、露出または開発する必要がある領域でレジストの均質なバランスを維持するのに役立つ綿棒ウェハによって行われます。電気機械工程を用いることで開発精度をさらに高め、ミクロンレベルでの正確な動作を可能にします。フォトレジストプロセスの最終段階はフォトレジスト除去ステージです。この段階では、酸ベースの溶液を使用して、露出または開発されたレジストを溶解します。周囲温度は、最適な反応速度を維持するために慎重に監視され、最高品質の結果を得ることができます。BUHLER UCS 40は、業界の専門家が最も正確で高品質な結果を提供するためにテストした信頼性の高いフォトリソグラフィーマシンです。このツールは、さまざまなサプライヤーから入手可能であり、その設計と機能により、あらゆる半導体製造プロセスに容易に適応できます。