中古 BUHLER / LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 #293741528 を販売中
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ID: 293741528
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2007
Coating machine, 6"-8"
Chamber, 700 mm
Control system
POLYCOLD PFC 672 Cooling system
Meissner trap
Evaporation shielding set
DP250A Oil-free vacuum pump
DP80 Single stage screw pump
Root pump
TPH 2101 Turbomolecular pump with automatic sequence control and interlock
Process gas with pressure control (oxygen)
Substrate drive
Single flat plate substrate holder, 6"-8"
Uniformity mask
Substrate heater ceramic, 5.2 kW
PIAD (Plasma Ion Assisted Deposition Sources)
Advanced plasma source
Anode tube
Tool set
LaB6 Cathode
(2) Spare ceramic rings
Graphite heater
Crucible 1- pocket 102/17 for HPE 6
Electron beam evaporator
XMS Quartz crystal measurement system
(10) Quartz Crystals
XMS Dual quartz crystal sensor head
Electrical power connection: 60 Hz
2007 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710は、先進的な半導体製造用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。この精密ツールは、集積回路、マイクロプロセッサ、メモリチップなどの電子デバイスの生産において重要なコンポーネントです。BUHLER SYRUSpro 710は、フォトリソグラフィープロセスにおいて比類のない精度、再現性、効率を提供し、製造メーカーがより高い歩留まりと優れたデバイス性能を達成することを可能にします。LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710の中核には、最先端の技術を活用した優れた分解能とアライメント機能を提供する先進的な光学システムがあります。高性能な光源、精密な光学系、高度なアライメントアルゴリズムを備え、フォトレジスト材料を半導体基板に正確にパターニングすることができます。このマシンはサブミクロン分解能を達成することができ、より小型のフィーチャーサイズのデバイスを製造するのに理想的です。SYRUSpro 710は、半導体製造のための汎用性の高いツールになる機能と機能の範囲を提供しています。1つの重要な特徴は多波長の機能であり、ユーザーは使用される特定のプロセスまたは材料の要件に応じて異なる波長の光を選択することができます。この柔軟性により、ツールは幅広い用途や材料に対応し、その利便性と費用対効果を高めます。高度な光学アセットに加えて、BUHLER SYRUS PRO 710は、フォトリソグラフィープロセスを合理化し、ヒューマンエラーを最小限に抑える洗練されたオートメーションモデルを備えています。この装置はインテリジェントなソフトウェアコントロールを備えており、ユーザーは複雑な露出パターンを簡単かつ正確にプログラムできます。この自動化機能は生産性を向上させるだけでなく、大量の半導体製造に不可欠な一貫した再現性のある結果を保証します。BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710は、効率を最適化し、サイクル時間を短縮する機能を備えたハイスループット生産環境向けに設計されています。基板の迅速な位置決めと露出のための高速ステージを内蔵し、ダウンタイムを最小限に抑え、生産スループットを最大化します。さらに、自動ローディングシステムやアンローディングシステムなどの高度なウエハハンドリング機能を搭載し、生産性と拡張性をさらに高めています。SYRUS PRO 710の主な利点の1つは、信頼性と安定性であり、長時間の動作にわたって一貫したパフォーマンスを保証します。このマシンは、堅牢な構造とフォトリソグラフィープロセスの完全性を維持するための高度な汚染制御機能を備えたクリーンルーム環境で動作するように設計されています。この信頼性は、高い歩留まりと一貫したデバイス品質の実現を目指す半導体メーカーにとって不可欠です。全体として、LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710は、半導体製造における精密フォトリソグラフィの新たな基準を定めています。高度な光学ツール、オートメーション機能、ハイスループット設計により、次世代の電子デバイスを製造するための比類のない性能と汎用性を提供します。半導体メーカーは、BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710を使用して、最も要求の厳しいパターン要件を満たし、費用対効果の高い効率的な方法で優れたデバイス性能を達成できます。
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