中古 BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III #293769460 を販売中

ID: 293769460
ヴィンテージ: 2020
Optical coating machine POLYCOLD PFC-1102 HC Water vapor cryo chiller (PN: 700201-42-60) BUSCH R5 URA0305.D5Z6.1003 Vacuum pump with booster (2) Muco DRG 1.6 Transformers DRG 2.5 Transformer REGLOPLAS 90S/6/TS22/1 K/RT32 Temperature control unit SELLA MXH 404E-S XAN119ML05 Temperature control unit SELLA SA 6/0/MXH404+MIX XAS116ML02 Temperature control unit Parts included: EATON NOVA / AXCELIS 9SX 1000 UPS BECKHOFF C5240 Industrial PC LOOA-10759-001 Power supply LOOA-11214-001 LOOB-12236-001 BRP 1250 A 0305 ZX Pump WP 1250 D 2V3 ZZZZ Booster (3) EK96006 Oil filters (2) Rolls LAIPPLE M63a4 Carrousel motor with NMS30 Gear box SATISHLOH 92-005-180 Filter (3) LOOA-10803-001 O-Rings 1853 x 8, 102105885 (2) SATISLOH O-Rings, 1577 x 10, 50-900-455 (3) O-Rings HONEYWELL F76S1049 Water Filter KH1098 722C-050-580-BE Gas regulator KH1095 722C-050-540-BE Gas regulator (2) REG HBS 200-3-2,5 Gas regulators SCHNEIDER Optical 627-70-218 Welding protection glass BROOKS AUTOMATION 5850E 5850EC4BE4LB2A Flow controller GOULDS M100V3VB96012 Spare chiller ball valve EGE SDN 11306 Flow controller GRANVILLE PHILLIPS 392401-0-YK-P Vacuum gauge Chamber glass porthole spare glass (10) LOLB-11785-001 WC45DU Thrust washers, 48 x 74 x 2 (5) LONT-19257-001 MB 4530DU Bushings (5) LOOA-14389-001 Arm rights, 1.4301 (4) Bolts with wing nuts, 12" Box with mount and bolts (2) LOLP-11536-001 Gaskets (3) 102128508 Anodes LONT-18676-001 Anode thermal transfer sheet 42663-24 (10) 426663-24 (2) LONT-18675 (20) SWAGELOK SS-8-VCR-2-GR VCR Face seal gaskets 426663-9 80345336 RD-19-C-05 Ins, Pole piece, Mark II + (3) LOOA-11111-001 Gas distributors LONT-18688-001 Power cable anode (2) LONT-18687-001 Output connector sputter cathodes (2) LOOA-11105-001 Pole piece insulators REL-MR-24DC/1IC Relay 2961341 (4) LOST-10517-001 Insulators, 10-32M (4) Insulators (23) LONT-18352-001 Hex nuts, M2 426663-21 C Conn, Anode power, M, Mark II + (16) 426869 Screws, SS, 2-56 x .375 Slotted pan head AU LONT-18689-001 Standoff insulator anode stack LOOA-10279-001 Protective sheet for HPE6 (15) 0201-SS-502 Hex nuts, SS, 2-56 (2) LOOS-22159-001 Ion source gas lines LONT-18734-001 Bellow hose with adapter (7) LONT-18397-001 O-Rings, 100 x 5 FKM 70 Shore LONT-18670-001 O-Ring, 260 x 3 FKM 70 Shore LONT-13951-001 O-Ring, 105 x 5 FKM 83 Shore (2) LONT-10432-001 O-Rings, 28.3 x 1.78 FKM 70 Shore (10) LONT-10081-001 O-Rings, 42 x 5 FKM 70 Shore (4) LONT-18210-001 O-Rings, 45 x 3 FKM 70 Shore (2) LONT-16277 O-Ring LONT-18397 O-Ring (3) LONT-16277-001 O-Rings, 75 x 5 FKM 83 Shore (17) LONT-10077-001 O-Rings, 18 x 5 FKM 70 Shore (15) LONT-10152-001 O-Rings, 158.1 x 5.33 FKM 75 Shore (2) LONT-18647-001 Seals LONT-19186-001 Lip seal 10 x 15 L 2130 NBR 60 (3) LONT-13476-001 O-Rings, 48 x 5 FKM 70 Shore (2) LONT-13914-001 O-Rings, 55 x 5 (2) LONT-10431-001 O-Rings, 17.04 x 3.53 Vi563 70 Shore LONT-18121-001 O-Ring, 55 x 4 NBR 70 Shore LONT-18127-001 O-Ring, 305 x 5 FKM 70 Shore (21) LONT-18160-001 GN 615-M 5-KN (2) LONT-10156-001 O-Rings, 56.87 x 1.78 FKM 70 Shore (2) LONT-18728-001 Safety couplings (2) LONT-18731-001 Free wheel bearings LOOA-10337-001 Stab (2) LOOA-11337-001 Shafts with shoulder (2) LONT-18730-001 Bearings LOOA-10711-001 vacuum feedthrough (6) LONT-16986-001 21 x 30 x 2 Flat gaskets (4) LONT-18730-001 Bearings,102059884 Zyl-Shr M8x16 DIN 6912 CUNI1.5SIF60 BINDER 9920141005 M16 Female Connector (2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-14540-001 M6 x 30 Screws (2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18092-001 parallel pin 6 m, 6 x 28 DIN 7 SS (6) LONT-18730-001 Bearings, LONT-10164-001 M6 x 20 Screws (2) LONT-18730-001 Bearings, LOOA-11336-001 Disc washer (2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18726-001 Disc washer (19) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18351-001 Spring Disc 4,75 x 2, 36 x 0, 25 x 0, 38 1.4301 (5) LONT-18730-001 Bearings, 42360293 Holder f, Shudder Misc fittings and screws Crystal head with small box of spare parts BINDER with labels and electrical diagram INFICON Thin film instrument and sensor manuals CD (2) LONT-18456-001 Micro-Ion 354 Vacuum tube, 5" INFICON PSG500-S DB9 Serial cable SCHNEIDER LC1D09G7 Contactor LONT-18690-001 Cable (2) UNN-14028-004 Retaining rings, 8 x 0.8 LONT-18212-001 O-Ring, 86 x 3 FKM 70 Shore (2) LONT-16277-001 O-Rings, 75 x 5 FKM 83 Shore (6) LONT-18209-001 Quad ring, 19,60 x 24, 84 x 2, 62 x M-19 FPM 70 (6) UVN-56001-047 Deep groove ball bearings 6000 2Z (2) LOOA-10319-001 Socket head cap screws M4 x 6 DIN 912 SS LONT-18733-001 Microswitch 102096404 Bearing for crucible plate (2) LONT-18234-001 Safety couplings KBK7BK-SG-10 (6) 102130047 Gas distributors (2) Large fixtures with (6) Blades (3) 426663-9 Insulators, Pole piece, Mark II+ (3) 0201-SS-502 Nuts, SS, 2-56,HEX 427072 Washer, SS, FLT, 089I.D.x.187O.D.x.031 T 426663-27 SHT, Thermal transfer, Gas, Dist, Mark II+ IS16637 Gas distributor (2) 426871 Screws, SS, 10-32 x 1.938,SHCS,AU (3) 426869 Screws, SS, 2-56 x 375 SLTD PAN HD AU (3) 04-FL Washers, SS FLT, 220D x .115 x .016T (2) 0201-SS-718 Washers, SS, FLT, 440D x .202 x .030T.PREC 426663-24 SHT, Thermal transfer, Anode, Mark II+ 426663-25 SHT, Thermal transfer, H2O PLT, Mark II+ LOOA-11324-001 SF-CuF25 Protective hood bottom (2) Circular plates Large fixture with (5) Shelf / arms (3) Pallets Circular part with (4) Curved legs Large vacuum tube (2) Large boxes of rings Wypall wipers stand (11) Semi circular flat gray metal parts with holes HAMMOND POWER SOLUTIONS Sentinel 211718 Transformer, 480 V to 400 Y / 231 V, 500 kVA Manuals included 2020 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC IIIは、半導体、通信、フォトニクスなどの業界の高性能、精密光学コーティング用途向けに設計された最先端のフォトレジスト機器です。この高度なシステムは、最先端の技術と優れたエンジニアリングを統合し、優れたコーティング品質、プロセス制御、生産性を提供します。BUHLER Syrus 1350 LC IIIユニットの中心には、フォトレジスト材料の薄膜を様々な基板に精度と再現性を備えた制御環境を提供する、洗練された真空蒸着チャンバーがあります。このチャンバーには、高容量の基板ホルダー、精密モーションコントロール、およびコーティングプロセスのリアルタイム監視と制御のためのin-situ計測ツールなどの高度な機能が装備されています。LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC IIIマシンの重要なハイライトの1つは、さまざまなサイズと形状の基板上に超薄型で均一なコーティングを実現する能力です。この機能は、光学フィルター、反射防止コーティング、導波管デバイスの製造など、フォトレジスト層の厚さと光学特性を正確に制御する必要があるアプリケーションにとって重要です。このツールの蒸着プロセスは、物理蒸着(PVD)と化学蒸着(CVD)技術の組み合わせに基づいており、異なる特性と性能特性を持つ幅広いフォトレジスト材料の蒸着を可能にします。プロセスパラメータを調整することで、接着強度、光学透明度、耐薬品性などの特定の用途要件を満たすように成膜プロセスを調整できます。Syrus 1350 LC IIIアセットには、一貫した信頼性の高いコーティング性能を保証する包括的なプロセス制御およびオートメーション機能が装備されています。これらには、高度なプラズマ洗浄および活性化機能、基板加熱および冷却オプション、および統合されたガス流量制御システムが含まれます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、コーティングプロセスをプログラミングおよび監視するための直感的なソフトウェアを備えた、操作の容易さのために設計されています。性能面では、BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III装置は、優れたコーティング均一性、高い沈着率、および欠陥レベルを提供するため、高いスループットと歩留まりを必要とする大量生産環境に最適です。このシステムの精密コーティング機能は、業界の厳しい品質要件を満たすために、厳しい公差と仕様を持つ複雑な光学コーティングの製造を可能にします。全体として、BUHLER Syrus 1350 LC IIIフォトレジストユニットは、優れた性能、精度、および信頼性を必要とする要求の厳しい光学コーティング用途向けの最先端のソリューションです。高度な技術、堅牢な設計、ユーザーフレンドリーな機能を備えたこのマシンは、デバイスの性能と機能を最適化するために高品質の光学コーティングが不可欠な半導体、通信、およびフォトニクス業界の幅広い用途に適しています。
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