中古 BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III #293769460 を販売中
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ID: 293769460
ヴィンテージ: 2020
Optical coating machine
POLYCOLD PFC-1102 HC Water vapor cryo chiller (PN: 700201-42-60)
BUSCH R5 URA0305.D5Z6.1003 Vacuum pump with booster
(2) Muco DRG 1.6 Transformers
DRG 2.5 Transformer
REGLOPLAS 90S/6/TS22/1 K/RT32 Temperature control unit
SELLA MXH 404E-S XAN119ML05 Temperature control unit
SELLA SA 6/0/MXH404+MIX XAS116ML02 Temperature control unit
Parts included:
EATON NOVA / AXCELIS 9SX 1000 UPS
BECKHOFF C5240 Industrial PC
LOOA-10759-001 Power supply
LOOA-11214-001
LOOB-12236-001
BRP 1250 A 0305 ZX Pump
WP 1250 D 2V3 ZZZZ Booster
(3) EK96006 Oil filters
(2) Rolls
LAIPPLE M63a4 Carrousel motor with NMS30 Gear box
SATISHLOH 92-005-180 Filter
(3) LOOA-10803-001 O-Rings 1853 x 8, 102105885
(2) SATISLOH O-Rings, 1577 x 10, 50-900-455
(3) O-Rings
HONEYWELL F76S1049 Water Filter
KH1098 722C-050-580-BE Gas regulator
KH1095 722C-050-540-BE Gas regulator
(2) REG HBS 200-3-2,5 Gas regulators
SCHNEIDER Optical 627-70-218 Welding protection glass
BROOKS AUTOMATION 5850E 5850EC4BE4LB2A Flow controller
GOULDS M100V3VB96012 Spare chiller ball valve
EGE SDN 11306 Flow controller
GRANVILLE PHILLIPS 392401-0-YK-P Vacuum gauge
Chamber glass porthole spare glass
(10) LOLB-11785-001 WC45DU Thrust washers, 48 x 74 x 2
(5) LONT-19257-001 MB 4530DU Bushings
(5) LOOA-14389-001 Arm rights, 1.4301
(4) Bolts with wing nuts, 12"
Box with mount and bolts
(2) LOLP-11536-001 Gaskets
(3) 102128508 Anodes
LONT-18676-001 Anode thermal transfer sheet 42663-24
(10) 426663-24
(2) LONT-18675
(20) SWAGELOK SS-8-VCR-2-GR VCR Face seal gaskets
426663-9 80345336 RD-19-C-05 Ins, Pole piece, Mark II +
(3) LOOA-11111-001 Gas distributors
LONT-18688-001 Power cable anode
(2) LONT-18687-001 Output connector sputter cathodes
(2) LOOA-11105-001 Pole piece insulators
REL-MR-24DC/1IC Relay 2961341
(4) LOST-10517-001 Insulators, 10-32M
(4) Insulators
(23) LONT-18352-001 Hex nuts, M2
426663-21 C Conn, Anode power, M, Mark II +
(16) 426869 Screws, SS, 2-56 x .375 Slotted pan head AU
LONT-18689-001 Standoff insulator anode stack
LOOA-10279-001 Protective sheet for HPE6
(15) 0201-SS-502 Hex nuts, SS, 2-56
(2) LOOS-22159-001 Ion source gas lines
LONT-18734-001 Bellow hose with adapter
(7) LONT-18397-001 O-Rings, 100 x 5 FKM 70 Shore
LONT-18670-001 O-Ring, 260 x 3 FKM 70 Shore
LONT-13951-001 O-Ring, 105 x 5 FKM 83 Shore
(2) LONT-10432-001 O-Rings, 28.3 x 1.78 FKM 70 Shore
(10) LONT-10081-001 O-Rings, 42 x 5 FKM 70 Shore
(4) LONT-18210-001 O-Rings, 45 x 3 FKM 70 Shore
(2) LONT-16277 O-Ring
LONT-18397 O-Ring
(3) LONT-16277-001 O-Rings, 75 x 5 FKM 83 Shore
(17) LONT-10077-001 O-Rings, 18 x 5 FKM 70 Shore
(15) LONT-10152-001 O-Rings, 158.1 x 5.33 FKM 75 Shore
(2) LONT-18647-001 Seals
LONT-19186-001 Lip seal 10 x 15 L 2130 NBR 60
(3) LONT-13476-001 O-Rings, 48 x 5 FKM 70 Shore
(2) LONT-13914-001 O-Rings, 55 x 5
(2) LONT-10431-001 O-Rings, 17.04 x 3.53 Vi563 70 Shore
LONT-18121-001 O-Ring, 55 x 4 NBR 70 Shore
LONT-18127-001 O-Ring, 305 x 5 FKM 70 Shore
(21) LONT-18160-001 GN 615-M 5-KN
(2) LONT-10156-001 O-Rings, 56.87 x 1.78 FKM 70 Shore
(2) LONT-18728-001 Safety couplings
(2) LONT-18731-001 Free wheel bearings
LOOA-10337-001 Stab
(2) LOOA-11337-001 Shafts with shoulder
(2) LONT-18730-001 Bearings
LOOA-10711-001 vacuum feedthrough
(6) LONT-16986-001 21 x 30 x 2 Flat gaskets
(4) LONT-18730-001 Bearings,102059884 Zyl-Shr M8x16 DIN 6912 CUNI1.5SIF60
BINDER 9920141005 M16 Female Connector
(2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-14540-001 M6 x 30 Screws
(2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18092-001 parallel pin 6 m, 6 x 28 DIN 7 SS
(6) LONT-18730-001 Bearings, LONT-10164-001 M6 x 20 Screws
(2) LONT-18730-001 Bearings, LOOA-11336-001 Disc washer
(2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18726-001 Disc washer
(19) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18351-001 Spring Disc 4,75 x 2, 36 x 0, 25 x 0, 38 1.4301
(5) LONT-18730-001 Bearings, 42360293 Holder f, Shudder
Misc fittings and screws
Crystal head with small box of spare parts
BINDER with labels and electrical diagram
INFICON Thin film instrument and sensor manuals CD
(2) LONT-18456-001 Micro-Ion 354
Vacuum tube, 5"
INFICON PSG500-S
DB9 Serial cable
SCHNEIDER LC1D09G7 Contactor
LONT-18690-001 Cable
(2) UNN-14028-004 Retaining rings, 8 x 0.8
LONT-18212-001 O-Ring, 86 x 3 FKM 70 Shore
(2) LONT-16277-001 O-Rings, 75 x 5 FKM 83 Shore
(6) LONT-18209-001 Quad ring, 19,60 x 24, 84 x 2, 62 x M-19 FPM 70
(6) UVN-56001-047 Deep groove ball bearings 6000 2Z
(2) LOOA-10319-001 Socket head cap screws M4 x 6 DIN 912 SS
LONT-18733-001 Microswitch
102096404 Bearing for crucible plate
(2) LONT-18234-001 Safety couplings KBK7BK-SG-10
(6) 102130047 Gas distributors
(2) Large fixtures with (6) Blades
(3) 426663-9 Insulators, Pole piece, Mark II+
(3) 0201-SS-502 Nuts, SS, 2-56,HEX
427072 Washer, SS, FLT, 089I.D.x.187O.D.x.031 T
426663-27 SHT, Thermal transfer, Gas, Dist, Mark II+
IS16637 Gas distributor
(2) 426871 Screws, SS, 10-32 x 1.938,SHCS,AU
(3) 426869 Screws, SS, 2-56 x 375 SLTD PAN HD AU
(3) 04-FL Washers, SS FLT, 220D x .115 x .016T
(2) 0201-SS-718 Washers, SS, FLT, 440D x .202 x .030T.PREC
426663-24 SHT, Thermal transfer, Anode, Mark II+
426663-25 SHT, Thermal transfer, H2O PLT, Mark II+
LOOA-11324-001 SF-CuF25 Protective hood bottom
(2) Circular plates
Large fixture with (5) Shelf / arms
(3) Pallets
Circular part with (4) Curved legs
Large vacuum tube
(2) Large boxes of rings
Wypall wipers stand
(11) Semi circular flat gray metal parts with holes
HAMMOND POWER SOLUTIONS Sentinel 211718 Transformer, 480 V to 400 Y / 231 V, 500 kVA
Manuals included
2020 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC IIIは、半導体、通信、フォトニクスなどの業界の高性能、精密光学コーティング用途向けに設計された最先端のフォトレジスト機器です。この高度なシステムは、最先端の技術と優れたエンジニアリングを統合し、優れたコーティング品質、プロセス制御、生産性を提供します。BUHLER Syrus 1350 LC IIIユニットの中心には、フォトレジスト材料の薄膜を様々な基板に精度と再現性を備えた制御環境を提供する、洗練された真空蒸着チャンバーがあります。このチャンバーには、高容量の基板ホルダー、精密モーションコントロール、およびコーティングプロセスのリアルタイム監視と制御のためのin-situ計測ツールなどの高度な機能が装備されています。LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC IIIマシンの重要なハイライトの1つは、さまざまなサイズと形状の基板上に超薄型で均一なコーティングを実現する能力です。この機能は、光学フィルター、反射防止コーティング、導波管デバイスの製造など、フォトレジスト層の厚さと光学特性を正確に制御する必要があるアプリケーションにとって重要です。このツールの蒸着プロセスは、物理蒸着(PVD)と化学蒸着(CVD)技術の組み合わせに基づいており、異なる特性と性能特性を持つ幅広いフォトレジスト材料の蒸着を可能にします。プロセスパラメータを調整することで、接着強度、光学透明度、耐薬品性などの特定の用途要件を満たすように成膜プロセスを調整できます。Syrus 1350 LC IIIアセットには、一貫した信頼性の高いコーティング性能を保証する包括的なプロセス制御およびオートメーション機能が装備されています。これらには、高度なプラズマ洗浄および活性化機能、基板加熱および冷却オプション、および統合されたガス流量制御システムが含まれます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、コーティングプロセスをプログラミングおよび監視するための直感的なソフトウェアを備えた、操作の容易さのために設計されています。性能面では、BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III装置は、優れたコーティング均一性、高い沈着率、および欠陥レベルを提供するため、高いスループットと歩留まりを必要とする大量生産環境に最適です。このシステムの精密コーティング機能は、業界の厳しい品質要件を満たすために、厳しい公差と仕様を持つ複雑な光学コーティングの製造を可能にします。全体として、BUHLER Syrus 1350 LC IIIフォトレジストユニットは、優れた性能、精度、および信頼性を必要とする要求の厳しい光学コーティング用途向けの最先端のソリューションです。高度な技術、堅牢な設計、ユーザーフレンドリーな機能を備えたこのマシンは、デバイスの性能と機能を最適化するために高品質の光学コーティングが不可欠な半導体、通信、およびフォトニクス業界の幅広い用途に適しています。
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