中古 BUHLER / LEYBOLD OPTICS 2P-03 #9408233 を販売中

BUHLER/LEYBOLD OPTICS 2P-03は光学、医学、または産業部品の生産のために使用されるフォトレジスト装置です。紫外線露光を利用したフォトリソグラフィーシステムで、基材にプリント回路などの微細な特徴を付与します。BUHLER 2P-03ユニットは、基材を保持する基板ステージと、光源、光学、マスクホルダー、マスクアライナーなどの光学機器を備えた真空チャンバーで構成されています。光源は248nmの波長で超紫色の光を放出し、光学系を通過し、マスクとアライメントツールに入ります。マスクは、目的のパターンを作成するために、基板に整列し、焦点を合わせています。LEYBOLD OPTICS 2P-03は、露出の再現性と精度を念頭に設計されています。マスクアライナーはマスクの位置を監視し、光学アセットはフォーカス、レンズの歪み、光の浸透など、いくつかのパラメータで調整できます。これにより、基板に印刷されたパターンが意図されたものであることが保証されます。2P-03には制御ソフトウェアも含まれており、プロセスに影響を与える可能性のあるエラーを診断して記録する機能があります。これには、計測ツールのスイートと、パラメータ設定を格納するデータベースが含まれています。これにより、モデルのパフォーマンスを維持できるだけでなく、時間の経過とともに結果を比較するリソースを提供することができます。BUHLER/LEYBOLD OPTICS 2P-03は再現性のために設計されており、高品質のフォトレジスト生産のための信頼できるソリューションです。これは、正確なアライメントとパターンの再現性を備えた、片面および両面の露出が可能です。ガラス、プラスチック、金属、石英など様々な素材に幅広く使用できます。この装置はメンテナンス性が低く、高度なソフトウェア制御によりパラメータ調整が容易になり、高解像度と高精度の光学部品を製造するのに最適です。